Данные установки предназначены для проведения процессов герметизации (оплавления) МЭМС сенсоров в высоком вакууме до 10-6 млбар. Рабочая камера установки разделена на две независимые нагреваемые зоны: для корпуса сенсора и крышки, см. рисунок ниже. Верхняя и нижняя нагревательные плиты имеют независимый нагрев: верхняя плита нагревается до + 200⁰С, нижняя до +450⁰С. Одновременно можно проводить герметизацию до 6 корпусов. Установка имеет одну управляемую ручным электрическим расходомером газовую линию, что обеспечивает проведение процесса в среде газа. Одной из отличительных особенностей данных систем является возможность активации геттера. Установка проста в эксплуатации и имеет надежную конструкцию.
Отличительные особенности:
- Нагрев с верхней и с нижней стороны
- Возможность подключения до 4 линий подачи газа
- Управление и программирование установкой с помощью встроенного PID контроллера
- Оптический контроль процесса
- 6 адаптеров диаметром 42 мм
- Программируемые профили температуры
- Работа в атмосфере азота, кислорода, форминг газа
- Возможность сохранения до 20 программ 100 шагов каждая
Области применения:
- Герметизация/оплавление МЭМС сенсоров
- Активация геттера
- Разделение компонентов при термической обработке в 2 рабочих зонах
Опции:
- Дополнительная линия подачи газа с регулятором массового расхода (максимум 3 единицы)
- Турбомолекулярная помпа, 10-6 млбар с вакуумным клапаном и датчиком вакуума
- Замкнутая система охлаждения
- Термопара
Технические характеристики:
