Cовременное тестовое оборудование и технологии
Рус Eng

Система сращивания пластин модели AWB-04

AML

Система сращивания пластин модели AWB-04 предназначена для выполнения совмещенного анодного, эвтектического (высоко- и низкотемпературного) монтажа, монтажа на клей, термокомпрессии и монтажа стеклокерамики.

Высокая производительность системы обеспечивается одновременными процессами выравнивания пластины, нагрева и вакуумирования. При совмещении пластин на поверхностях их реперные отметки не делаются, все процессы совмещения выполняются с помощью оптики. Благодаря совмещению во время нагрева система обеспечивает более точные результаты постмонтажного совмещения. Нагрев и охлаждение полностью контролируются. Смена оснастки для работы с разными пластинами занимает всего 10 минут. Данное оборудование позволяет выполнять сращивание нескольких пластин (более 2), общей толщиной до 8 мм. 
Система полностью управляется с ПК, через программное обеспечение в ручном и в автоматическом режимах. Все параметры сращивания (ток, напряжение, температура, давление в камере, усилие монтажа, время, программы выполнения процессов и т.д.) задаются оператором. 
Оптическая система состоит из двух цветных камер, дающих изображения двух соединяемых поверхностей (в увеличении).  

Отличительные особенности:
  • Совмещение и сращивание в одной машине и одной рабочей камере
  • Позволяет выдерживать пластины с разной температурой
  • Подтверждение точности совмещения перед сращиванием, наблюдение за процессом в реальном времени
  • Нет касания рабочей стороны сращиваемых пластин

Области применения:
  • Изготовление МЭМС устройств
  • Изготовление новых типов светодиодов
  • Вакуумная герметизация
  • Создание 3Д сборок
  • Временный монтаж пластины на носитель

Опции:
  • Модуль плазменной обработки пластин
  • Модуль работы с парами муравьиной кислоты
  • Моторизованный привод держателя пластины
Технические характеристики
Точность совмещения: 1 мкм
Давление рабочего газа: от 10-6 мбар до 2 бар
Напряжение: до 2.5 кВ
Температура: до 560 °С
Усилие: до 10 кН
Размеры пластин: от 2 до 8 дюймов
Время выполнения одного цикла (совмещение, нагрев и соединение): 20 минут

 
Смежные продукты
image
Метод кассетной загрузки пластин в установке FAB12 дает дополнительное преимущество системам сращивания компании AML, обеспечивая высокую производительность как для пилотных партий, так и для крупносерийного производства
AML
Полностью автоматическая установка совмещения и сращивания пластин FAB 12
Отправить запрос