Высокая производительность системы обеспечивается одновременными процессами выравнивания пластины, нагрева и вакуумирования. При совмещении пластин на поверхностях их реперные отметки не делаются, все процессы совмещения выполняются с помощью оптики. Благодаря совмещению во время нагрева система обеспечивает более точные результаты постмонтажного совмещения. Нагрев и охлаждение полностью контролируются. Смена оснастки для работы с разными пластинами занимает всего 10 минут. Данное оборудование позволяет выполнять сращивание нескольких пластин (более 2), общей толщиной до 8 мм.
Система полностью управляется с ПК, через программное обеспечение в ручном и в автоматическом режимах. Все параметры сращивания (ток, напряжение, температура, давление в камере, усилие монтажа, время, программы выполнения процессов и т.д.) задаются оператором.
Оптическая система состоит из двух цветных камер, дающих изображения двух соединяемых поверхностей (в увеличении).
Отличительные особенности:
- Совмещение и сращивание в одной машине и одной рабочей камере
- Позволяет выдерживать пластины с разной температурой
- Подтверждение точности совмещения перед сращиванием, наблюдение за процессом в реальном времени
- Нет касания рабочей стороны сращиваемых пластин
Области применения:
- Изготовление МЭМС устройств
- Изготовление новых типов светодиодов
- Вакуумная герметизация
- Создание 3Д сборок
- Временный монтаж пластины на носитель
Опции:
- Модуль плазменной обработки пластин
- Модуль работы с парами муравьиной кислоты
- Моторизованный привод держателя пластины
Технические характеристики
Точность совмещения: 1 мкм
Давление рабочего газа: от 10-6 мбар до 2 бар
Напряжение: до 2.5 кВ
Температура: до 560 °С
Усилие: до 10 кН
Размеры пластин: от 2 до 8 дюймов
Время выполнения одного цикла (совмещение, нагрев и соединение): 20 минут
