Высокая производительность системы обеспечивается одновременными процессами выравнивания пластины, нагрева и вакуумирования. При совмещении пластин на поверхностях их реперные отметки не делаются, все процессы совмещения выполняются с помощью оптики. Благодаря совмещению во время нагрева система обеспечивает более точные результаты постмонтажного совмещения. Нагрев и охлаждение полностью контролируются. Смена оснастки для работы с разными пластинами занимает всего 10 минут. Данное оборудование позволяет выполнять сращивание нескольких пластин (более 2), общей толщиной до 8 мм.
Система полностью управляется с ПК, через программное обеспечение в ручном и в автоматическом режимах. Все параметры сращивания (ток, напряжение, температура, давление в камере, усилие монтажа, время, программы выполнения процессов и т.д.) задаются оператором.
Оптическая система состоит из двух цветных камер, дающих изображения двух соединяемых поверхностей (в увеличении).
Отличительные особенности:
- In-situ процесс совмещения – одновременный нагрев, откачка и совмещение дают высокую производительность в одной рабочей камере – не требуется кластерное оборудование
- Модули автоматизации Brooks (кассетная загрузка, робот)
- Диаметр пластин 150, 200 и 300 мм
- 1 мкм точность совмещения
- Низкая стоимость владения
- Соответствие SEGS/GEM, SECS300&E84
- Процессы анодной сварки, прямого сращивания, термокомпрессия, адгезионное соединений и стеклоспай
- Все процессы, включая совмещение, производятся в одной рабочей камере
Области применения:
- Изготовление МЭМС устройств
- Корпусирование на уровне пластины
- Создание 3Д сборок
Опции:
- УФ обработка
- Конфигурация «сквозь стену»
- ISO1 минибокс чистоты (ламинарный поток между кассетным загрузчиком и рабочей камерой)
Технические характеристики
Размер пластин 150, 200 и 300 мм
Толщина пластин Макс. 6,5 мм (сращенные)
Захват пластин 3 мм по кромке зона исключения
Максимальная температура +560 °С
Базовое давление 10-6 мбар
Время откачки 5 мин до 10-5 мбар
Максимальное усилие 15 кН
Количество кассет 2 или 3
Порты для рабочих газов 4
Совмещение 1 мкм точность. Прозрачные и не прозрачные, реперные знаки сверху и снизу пластины
Анодная сварка 2,5 кВ DC, 40 мА
