Cовременное тестовое оборудование и технологии
Рус Eng

Микроэлектромеханические системы (МЭМС) – небольшие устройства, объединенные с полупроводниковыми приборами и сочетающие характеристики электронных схем и механических компонентов.

Различные типы МЭМС требуют контроля параметров при различных физических воздействиях, воздействий температур и прочих условиях, определяющих функциональность устройства. Обычно для достижения надежной и точной проверки устройства требуется тщательный выбор, дизайн, и интеграция каждого компонента подсистемы, включая измерительное оборудование, устройство для механического воздействия, тестовый адаптер, оборудование для задания температурных режимов и программное обеспечение.

Используя собственную разработку Комплекс измерительный для функционального контроля FT-17 в качестве тестового оборудования, ООО «Совтест АТЕ» проектирует и поставляет испытательные решения МЭМС «под ключ», как для мелкосерийного производства (полуавтоматические), так и полностью автоматизированные системы для проверки крупной серии.

Решение для мелкосерийного производства.

Полуавтоматическое (участие оператора минимально) решение для мелкосерийного производства обычно включает в себя:
  • измерительное оборудование, в качестве которого применяется универсальный комплекс измерительный FT-17;
  • тестовый адаптер с контактными устройствами для установки одного или более объекта тестирования;
  • оборудование для задания физических воздействий на объект тестирования.
Тестовый адаптер устанавливается на оборудование для задания физических воздействий и при помощи кабельного комплекта стыкуется с измерительной системой. Все компоненты системы объединены одной программной средой, задача которой контролировать процесс тестирования, задавать воздействующие условия, измерять выходные сигналы, накапливать статистику и т.д.
Оборудование для задания физических воздействий может представлять собой как простые стенды для имитации какого-либо одного воздействия, так и сложные многокомпонентные стенды.

Примеры решений

Применяется для контроля параметров MEMS акселерометров на производстве и входном контроле.

Контролируемые параметры:
  • коэффициент преобразования MEMS;
  • нестабильность коэффициента преобразования при изменении температуры;
  • линейность коэффициента преобразования;
  • ток потребления MEMS;
  • значение смещения нуля и нестабильность смещения нуля;
  • динамические характеристики MEMS (полоса пропускания).
Состав системы:
  1. Калибровочный вибростенд TV 51140-C (Tira)
  2. Мобильная испытательная система TP04300A (Temptronic)
  3. Комплекс измерительный для функционального контроля FT-17
Основные характеристики:
  • максимальное задаваемое ускорение – до 68g;
  • диапазон задания частоты вибросистемой – от 40 Гц до 25 кГц;
  • максимальное выталкивающее усилие – 400 Н;
  • диапазон задаваемых температур термосистемой – от минус 80°C до +225°C
  • скорость изменения температуры - от  минус 55°С до +125°С  - 5 сек.
  • подача напряжения питания на тестируемый MEMS – от 30 В, 5 А
  • сканирование выходных характеристик тестируемых MEMS – при помощи осциллографа, с полосой пропускания 70 МГц;
  • одновременное измерение – до 64-х каналов

Метрологическая поддержка

Включён в госреестр средств измерений.
Тестирование параметров MEMS гироскопов,  датчиков угла. Применяется для контроля параметров MEMS гироскопов, датчиков угла, наклона и угловых скоростей на производстве и входном контроле. Может быть использован для калибровки MEMS акселерометров.

Контролируемые параметры:
  • коэффициент преобразования MEMS;
  • нестабильность коэффициента преобразования при изменении температуры;
  • линейность коэффициента преобразования;
  • ток потребления MEMS;
  • значение смещения нуля и нестабильность смещения нуля;
  • динамические характеристики MEMS (полоса пропускания).
Состав системы:
  1. Двухосевой стенд задания физического воздействия
  2. Температурная камера
  3. Комплекс измерительный для функционального контроля FT-17
Основные характеристики:
  • диапазон задания угловой скорости – ±1500 °/с (для внутренней оси);
  • диапазон задания угла – ±360 ° (для внутренней оси), 0…90 ° (для внешней оси);
  • точность задания угловых величин – ±0,0005 °;
  • диапазон задаваемых температур термокамерой – от минус 60°C до +125°C
  • скорость измерения температуры - 4 °/сек
  • подача напряжения питания на тестируемый MEMS – от 30 В, 5 А
  • сканирование выходных характеристик тестируемых MEMS – при помощи осциллографа, с полосой пропускания 70 МГц;
  • одновременное измерение – до 64-х каналов
Смежные продукты
image
Новейшая разработка компании «Совтест АТЕ» - система входного контроля FT-VISION.
image
Манипуляторы предназначены для подключения к системам электротестирования с целью контроля параметров изделий микроэлектроники при температурах от минус 60 до плюс 155° С и последующей их сортировкой по результатам тестирования.
Автоматизированная система входного контроля компонентов FT-VISION Манипуляторы для тестирования ЭКБ
Отправить запрос