- Утонение, шлифовка, полировка пластин
- Резка и скрайбирование пластин и подложек
- Совмещение и сращивание пластин
- Фотолитография
- Термические процессы
- Оборудование для толстоплёночной технологии
Свернуть
Развернуть
Нанесение тонких плёнок – этап формирования структур на кристалле.
Методов нанесения тонких плёнок существует большое количество:
• Термическое окисление
• Плазмохимическое осаждение
• Химическое осаждение из газовой фазы
• Термовакуумное напыление
• Ионное распыление (катодное и магнетронное)
• Ионно-плазменное распыление и др.