- Утонение, шлифовка, полировка пластин
- Резка и скрайбирование пластин и подложек
- Совмещение и сращивание пластин
- Фотолитография
- Плазмохимические и ионно-лучевые процессы
- Нанесение тонких плёнок
- Термические процессы
Свернуть
Развернуть
Установка FHR-Star300BOX – предназначена для нанесения металлов на различные поверхности.
FHR
Особенности установки:
- камера выполнена из нержавеющей стали.
- загрузка образцов выполняется вручную через дверь расположенную в фронтальной части.
- конструкция камеры позволяет устанавливать до 8 источников прямоугольной формы....
Нанесение тонких плёнок – этап формирования структур на кристалле.
Методов нанесения тонких плёнок существует большое количество:
• Термическое окисление
• Плазмохимическое осаждение
• Химическое осаждение из газовой фазы
• Термовакуумное напыление
• Ионное распыление (катодное и магнетронное)
• Ионно-плазменное распыление и др.