Cовременное тестовое оборудование и технологии
Рус Eng

Плазмохимические и ионно-лучевые процессы

Свернуть Развернуть
Серия установок IonScan компании MicroSystems открывает новые возможности для сверхточной подгонки ...
MICROSYSTEMS Roth&Rau
В IonScan используется сфокусированный ионный луч, который сканирует подложку с точно регулируемым положением, скоростью и параметрами луча (пучка), для уменьшения толщины пленки и/или поверхностных погрешностей контура до масштаба субнанометров. Хорошие...
Серия MicroSys представляет бюджетную и универсальную платформу для процессов разнообразного травл...
MICROSYSTEMS Roth&Rau
Хорошо зарекомендовавшие себя на рынке системы  MicroSys производства компании MicroSystems были разработаны как бюджетное, но высококачественное решение для различных применений в исследовательских работах и для мелкосерийного производства. Серия MicroSys...
Серия установок IonScan компании MicroSystems открывает новые возможности для сверхточной подгонки ...
MICROSYSTEMS Roth&Rau
В IonScan используется сфокусированный ионный луч, который сканирует подложку с точно регулируемым положением, скоростью и параметрами луча (пучка), для уменьшения толщины пленки и/или поверхностных погрешностей контура до масштаба субнанометров. Хорошие...
В связи с требованиями стандартов качества, ионно-лучевые технологии всё чаще заменяют традиционные методы сухого травления и процессы осаждения. Ионно-лучевые процессы имеют значительные преимущества, которые включают в себя высокий уровень контроля скорости процесса, контроль угла падения луча и отдельный контроль потока и энергии ионов.
 
Плазмохимический процесс осаждения пород (PECVD) – это процесс, используемый для нанесения тонких плёнок из газового состояния в твёрдое состояние на подложке. Химические реакции возникают в технологических газах после создания плазмы. Плазма, как правило генерируется между двумя электродами, пространство между которыми заполнено технологическими газами.

Отправить запрос