ВВ установке используется последовательность надрез – разлом, это позволяет избежать загрязнения или повреждения кристалла. Во время скрайбирования для фиксации пластины используется майларовая пленка, после фиксации происходит разламывание пластины на кристаллы с помощью линейного ножа. Пленка защищает кристалл от загрязнения и механических повреждений. Все параметры процесса вводятся оператором. Установка проста в эксплуатации, обладает высокой жесткостью конструкции, что обеспечивает отсутствие вибрации в процессе работы.
Отличительные особенности:
- Регулируемая сила резки
- Возможность перемещения по оси Z с регулировкой угла поворота
- 17-дюймовый ЖК монитор и цветная CCD камера высокого разрешения
- Автоматический режим или контроль оператором
Области применения:
- Скрайбирование полупроводниковых пластин и подложек
- Разделение пластин на кристаллы
Технические характеристики
РАБОЧАЯ ГОЛОВКА
Возможность перемещения по оси Z с регулировкой угла поворота
Регулируемая сила резки 3-100 гр, постоянный вес
Алмазный инструмент с функцией регулировки по углу и повороту
Смещение инструмента с помощью перекрестия
Точность +/- 5 мкм
РАБОЧИЙ СТОЛ
Держатель пластин диаметром до 100 мм
Размеры кристаллов: от 200x200 мкм до 10х10 мм
Минимальная толщина подложек 80 мкм
Ручное вращение на 90º
Разрешение перемещения по X, Y 1 мкм
Управление движением при помощи джойстика
Точность по оси X +/- 5 мкм
ВИДЕОСИСТЕМА
Оптическая система и уровень увеличения зависят от применения
Совмещение: программируемая область/вручную
17-дюймовый ЖК монитор и цветная CCD камера высокого разрешения
Генератор перекрестия
Светодиодная подсветка
МОДУЛЬ РАЗЛОМА
Автоматический режим или контроль оператором
Режим разлома: верхняя сторона защищается пленкой, разлом выполняется снизу
Майларовая пленка легко снимается, необходима для защиты поверхности от загрязнения
Несколько видов майларовой пленки в зависимости от применения
ТРЕБОВАНИЯ К ПОДКЛЮЧЕНИЮ
Электропитание 220 В, 0.5 КВт
Пневмопитание 5 бар
Вакуум 60%
ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ И ВЕС
Габаритные размеры 450x700x500 мм
Вес 80 кг
