Установка имеет дружественный интерфейс, проста в эксплуатации даже для начинающих пользователей. Вертикальное позиционирование производится с помощью видеосистемы с электронным перекрестьем. Система обладает высокой жесткостью конструкции, что обеспечивает отсутствие вибрации в процессе работы.
Отличительные особенности:
- Программирование длины резки
- Возможность перемещения по оси Z с регулировкой угла поворота
- ЖК монитор и цветная CCD камера высокого разрешения
- Алмазный инструмент с функцией регулировки по углу и повороту
Области применения:
- Скрайбирование полупроводниковых пластин и подложек
- Разделение пластин на кристаллы
Технические характеристики:
РАБОЧАЯ ГОЛОВКА
Возможность перемещения по оси Z с регулировкой угла поворота
Регулируемая сила скрайбирования от 10 до 300 г
Алмазный инструмент с функцией регулировки по углу и повороту
Смещение инструмента с помощью перекрестия
Точность +/- 5 мкм
РАБОЧИЙ СТОЛ
Держатель подложек до 8”
Вакуумный зажим
Адаптер для рамок и пялец с пластинами
Моторизированное вращение: постоянное или под определенным углом
Настройка положения вращения по двум точкам
Разрешение вращения: 500 000 шагов/один круг
Разрешение перемещения 1 мкм, точность перемещения 5 мкм
Управление движением при помощи джойстика
Скорость скрайбирования 1-100 мм/сек
Программирование длины резки
ВИДЕОСИСТЕМА
Оптическая система и уровень увеличения зависят от применения
Поле обзора стандартное 1 мм
ЖК монитор и цветная CCD камера высокого разрешения
Совмещение: программируемая область/ручное
Генератор перекрестия
LED подсветка
ТРЕБОВАНИЯ К ПОДКЛЮЧЕНИЮ
Электропитание 100/230 В, 50 Вт
Пневмопитание 5 бар
Вакуум 60%
ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ И ВЕС
Габаритные размеры 450x700x500 мм
Вес 80 кг
