Cовременное тестовое оборудование и технологии
Рус Eng

Совмещение и сращивание пластин

Свернуть Развернуть
Система сращивания пластин модели AWB-04 предназначена для выполнения совмещенного анодного, эвтекти...
AML
Высокая производительность системы обеспечивается одновременными процессами выравнивания пластины, нагрева и вакуумирования. При совмещении пластин на поверхностях их реперные отметки не делаются, все процессы совмещения выполняются с помощью оптики....
Метод кассетной загрузки пластин в установке FAB12 дает дополнительное преимущество системам сращива...
AML
Высокая производительность системы обеспечивается одновременными процессами выравнивания пластины, нагрева и вакуумирования. При совмещении пластин на поверхностях их реперные отметки не делаются, все процессы совмещения выполняются с помощью оптики....
   Сращивание кремниевых пластин представляет собой технологию корпусирования МЭМС, НОЭМС, микроэлектронных и оптоэлектронных компонентов, которая обеспечивает механически стабильную и герметичную инкапсуляцию. 

   Корпусирование защищает внутренние структуры от воздействия окружающей среды, таких как температура, влажность, высокое давление и процессы окисления. Стабильность и надёжность функциональных элементов зависит от качества процесса корпусирования. 
   Корпусирование должно удовлетворять следующим требованиям:
1. Защита от воздействий окружающей среды.
2. Отвод тепла.
3. Интеграция элементов, изготовленных по разным технологиям.
4. Совместимость с окружающей периферией устройства.

   При выполнении процесса совмещения и сращивания пластин в одном технологическом процессе повышается точность сращивания, увеличивается выход годных кристаллов, а также появляются дополнительные возможности проведения процесса.




Отправить запрос