Кремниевые пластины требуют тщательной обработки для обеспечения разделения пластины на кристаллы для предотвращения скалывания углов кристалла после процесса резки. Установки серии TEX-21 обеспечивают растяжение пластин путем равномерного растягивания в направлениях X и Y. После растяжения/разделения, пластина, прикрепленная к пленке помещается на растяжное кольцо (пяльца, состоящие из внешнего и внутреннего колец).
Отличительные особенности:
- Регулировка растяжения
- Регулировка скорости привода столика
- Разделение пластин диаметром до 200 мм
- Компактное настольное исполнение
- Устройство круговой обрезки пленки
Области применения: Растяжение адгезионной пленки с разрезанной на кристаллы пластиной
Технические характеристики
