Отличительные особенности:
- Быстрая очистка, отмывка и сушка фотошаблонов
- Прецизионная очистка с помощью специальных щеток, которые не оставляют царапин на поверхности и топологии фотошаблона
- Вертикальное размещение и перемещение фотошаблонов уменьшает вероятность их ударения друг о друга
- Идеальное решение для лабораторий и мелкосерийного производства.
- Специальные держатели образцов: универсальные и выполненные под определенный размер фотошаблонов.
Опции
- Узел впрыска поверхностно-активного вещества
- HEPA/ULPA фильтры
- Ионизатор
- Воздушный нож с горячим воздухом
- Модуль нагрева деионизированной воды
Области применения: Очистка образцов, очистка пластин, очистка поверхности.
Технические характеристики
