TWC-200A – это полностью автоматическая система с кассетной загрузкой образцов, которая может использовать специальные химические растворы для повышения производительности и эффективности очистки.
Для осушения используется нагретая деионизирлванная вода, которая подается на образец через конвекционный воздушный нож, который спроектирован таким образом, что нет необходимости в настройке направления распыляемой воды.
Система работает с четырьмя видами химических растворов, которые выбираются под процесс заказчика. Когда раствор заканчивается его можно заменить, установив резервуар с другим раствором.
Отличительные особенности:
Полное удаление резиста и остатков резиста
Полное удаление частиц размером более 1 мкм
Шаблоны могут использоваться постоянно
Химические растворы последнего поколения экологически безопасны
Не повреждает поверхность и топологию шаблона
Подходит для двусторонней очистки
Опции
Узел впрыска поверхностно-активного вещества
HEPA/ULPA фильтры
Ионизатор
Воздушный нож с горячим воздухом
Модуль нагрева деионизированной воды
Области применения: Очистка образцов, очистка пластин, очистка поверхности.
Технические характеристики
