Cовременное тестовое оборудование и технологии
Рус Eng

Установка плазменной очистки V6-G

Pink Plasma Finish

Данная установка представляет собой настольную систему плазменной очистки, предназначенную для удаления загрязнений, оксидов и др. составов перед операцией разварки выводов проволокой, во «flip chip»-технологии и т.д.

Благодаря наличию в данной системе массового расходомера рабочих газов, можно производить смену газовых баллонов с различным давлением, а PLC-контроллер обеспечивает возможность программирования и хранения режимов работы, а так же безопасность рабочего процесса.  

Отличительные особенности:
  • Дверка камеры открывается в обе стороны
  • Автоматическая очистка вакуумной линии после выключения системы
  • Сверхточное совмещение по верхней стороне
  • Обновление программного обеспечения посредствам аналогового модема
  • Возможность использования вращающегося барабана для обработки маленьких деталей
  • RS-232 интерфейс

Области применения:
  • Изготовление МЭМС 
  • Удаление полимеров (например, после Bosch-процессов)
  • Удаление жертвенных органических слоёв
  • Обработка биоактивных компаундов

Опции:
  • Вакуумная помпа
  • Озоновая ловушка
  • Вторая газовая линия
  • Вращающийся барабан для мелких компонентов
  • Ящик с полками
  • Дистанционное управление
  • И другие

Технические характеристики:
Размеры рабочей камеры: 170х170х200 мм
Частота: 2,45 ГГц макс. 300 Вт, 
Подача газа: Одна газовая магистраль с массовым расходомером с магнитным клапаном
Эл. питание: Однофазное 230В, 50-60 Гц, 16 А
Габаритные размеры: 640х710х710 мм
Вес: 100 кг

Смежные продукты
image
Настольная система очистки V10-G была разработана специально для удаления фоторезиста, она идеально подходит для очистки полупроводниковых пластин и подложек.
Pink Plasma Finish
image
Данная установка представляет собой универсальную систему плазменной очистки, предназначенную для удаления загрязнений, оксидов и др. составов перед операцией разварки выводов проволокой, во «flip chip»-технологии и т.д.
Pink Plasma Finish
image
Данная установка представляет собой универсальную систему плазменной очистки, предназначенную для удаления загрязнений, оксидов и др. составов перед операцией разварки выводов проволокой, во «flip chip»-технологии и т.д.
Pink Plasma Finish
image
Данная установка предназначена для проведения процессов плазменной обработки изделий и процессов (например удаление загрязнений, оксидов, применение во «flip chip»-технологии, бесфлюсовое оплавление, повышение адгезии и т.д.)!
UniTemp
image
Данная установка представляет собой универсальную систему плазменной очистки, предназначенную для удаления загрязнений, оксидов и др. составов перед операцией разварки выводов проволокой, во «flip chip»-технологии и т.д
Pink Plasma Finish
Установка плазменного удаления фоторезиста V10-G
Отправить запрос