Cовременное тестовое оборудование и технологии
Рус Eng

Accretech

Зондовая установка предназначена для реализации автоматического режима загрузки, позиционирования и контактирования полупроводниковых пластин для обеспечения измерений кристаллов, расположенных на пластине.

Данная установка предназначена для работы как со стандартными полупроводниковыми пластинами диаметром 4 ̋, 6 ̋ и 8 ̋, так и с пластинами на фрейме-носителе для пластин диаметром 8 ̋.
Зондовая станция позволяет осуществлять загрузку/выгрузку пластин в стандартные кассеты на 25 позиций для пластин диаметром 4 ̋, 6 ̋ и 8 ̋ и кассеты для фрейме-носителя для пластин диаметром 6 ̋ и 8 ̋.
Обеспечивается работа станции с пластинами толщиной от 300 до 1000 мкм (стандартные пластины) и толщиной от 20 до 300 мкм (пластины на фрейме-носителе).
Для осуществления электроконтроля полупроводниковых пластин, зондовая установка обеспечивает возможность стыковки с контрольно-измерительным оборудованием.

Характеристики
Наименование параметра Величина параметра
Тип размещения Напольный
Габаритные размеры базового блока (ШхГхВ) 1322х1454х943 мм
Вес установки 870 кг
Питание 230В
50Гц
Потребляемая мощность Не более 1,3 кВА, включая подогрев держателя пластин. 1ф.
Точность позиционирования ± 1.5 мкм
Перемещение держателя X/Y ±120 мм
Скорость перемещения держателя X/Y X : 250 мм/сек
Y : 200 мм/сек
Свободный ход по оси Z 47 мм
Точность по Z ± 2мкм
Шаг установки координаты Z 0,25 мкм
Скорость перемещения по оси Z 30 мм/сек
Предел нагрузки по оси Z не более 120 кгс
Диапазон вращения по Theta ±5° (с шагом 0.00007°)
Поддерживаемый размер кристалла от 0.25 до 100 мм (0.1мкм шаг)
LCD дисплей не менее 12,1 дюймов Сенсорное управление, черно-белый дисплей
Макс. напряжение по линиям измерительного оборудования
(измерительное оборудование в комплект поставки не входит)
до 1000 В
Опции По запросу
Смежные продукты
image
Зондовая станция UF190R предназначена для автоматической загрузки/выгрузки, позиционирования и установки полупроводниковых пластин диаметром 4 дюйма, 5 дюймов, 6 дюймов и 8 дюймов на держатель (chuck) станции для их тестирования с помощью тестеров параметрического и функционального контроля микросхем (FT-17HF и FT-17DT производства ООО "Совтест АТЕ"/ J750, MicroFLEX и UltraFLEX производства Teradyne/ Verigy V93000 производства Advantest и т.д)
Accretech
image
Зондовые установки применяются в производстве микроэлектроники и предназначены для автоматического позиционирования и установки полупроводниковых пластин в держателе для их тестирования с помощью тестеров параметрического и функционального контроля микросхем (FT-17HF и FT-17DT производства ООО "Совтест АТЕ"/ J750, MicroFLEX и UltraFLEX производства Teradyne/ Verigy V93000 производства Advantest и т.д).
Accretech
image
Зондовая станция UF2000 предназначена для автоматической загрузки/выгрузки, позиционирования и установки полупроводниковых пластин диаметром 5 дюймов, 6 дюймов и 8 дюймов на держатель (chuck) станции для их тестирования с помощью тестеров параметрического и функционального контроля микросхем (FT-17HF и FT-17DT производства ООО "Совтест АТЕ"/ J750, MicroFLEX и UltraFLEX производства Teradyne/ Verigy V93000 производства Advantest и т.д)
Accretech
image
Зондовые установки применяются в производстве микроэлектроники и предназначены для автоматического позиционирования и установки полупроводниковых пластин в держателе для их тестирования с помощью тестеров параметрического и функционального контроля микросхем (FT-17HF и FT-17DT производства ООО "Совтест АТЕ"/ J750, MicroFLEX и UltraFLEX производства Teradyne/ Verigy V93000 производства Advantest и т.д).
Accretech
image
Зондовая станция UF190R предназначена для автоматической загрузки/выгрузки, позиционирования и установки полупроводниковых пластин диаметром 4 дюйма, 5 дюймов, 6 дюймов и 8 дюймов на держатель (chuck) станции для их тестирования с помощью тестеров параметрического и функционального контроля микросхем (FT-17HF и FT-17DT производства ООО "Совтест АТЕ"/ J750, MicroFLEX и UltraFLEX производства Teradyne/ Verigy V93000 производства Advantest и т.д)
Accretech
Автоматическая зондовая станция UF3000EX-e
Отправить запрос