Cовременное тестовое оборудование и технологии
Рус Eng

Accretech

Зондовая станция UF2000 предназначена для автоматической загрузки/выгрузки, позиционирования и установки полупроводниковых пластин диаметром 5 дюймов, 6 дюймов и 8 дюймов на держатель (chuck) станции для их тестирования с помощью тестеров параметрического и функционального контроля микросхем (FT-17HF и FT-17DT производства ООО "Совтест АТЕ"/ J750, MicroFLEX и UltraFLEX производства Teradyne/ Verigy V93000 производства Advantest и т.д)

Характеристики
Применяемы пластины: Диаметр пластины 4,5.6 и 8 4, 5.6 и 8 дюймов (120,150 и 200 мм).
Опционально 4 дюйма (100 мм)
Толщина пластины от 150 до 1000 мкм (без деформации)
Отклонение (допуск) по толщине пластины ±50 мкм макс.
Размер кристалла от 0,25 мм до 100 мм (деление 0,1 мкм)
Общая точность в пределах ± 1,5 мкм
Мульти-зондирование Максимум сайтов 64 сайта (опционально доступен вариант 2048 сайтов)
Точность выравнивания Основная система Сопоставление рисунка с камерой ITV
Подсветка/освещение Светодиодные лампы для коаксиального и наклонного освещения
Поле зрения На минимальной высоте: Приблизительно 3,33 х 3,12 мм

На максимальной высоте: приблизительно 0,51 x 0,48 мм
Ось X, Y Размер рабочей зоны Максимум. ±120 мм
Разрешение 0,1 мкм
Максимальная скорость
перемещения по оси
X: 250 мм /с, Y:200 мм/с
Ось Z Полный ход по оси 47 мм
Стандартный ход щупа 0,5 мм
Точность ± 2,0 мкм
Разрешение 0,25 мкм
Максимум. скорость 30 мм/с
Допустимая нагрузка 120 кгс
Максимально допустимая нагрузка на 1 пробник при тестировании 450 кгс
Ось Theta Диапазон вращения ± 5 градусов
Разрешение 0,00007 градусов
Загрузчик Лифт (кассетный) Одиночный порт загрузки
Применимая кассета / FOUP Совместимость со стандартом SEMI
Питание Напряжение 100/200/210/220/230/240 В переменного тока 50/60 Гц
Потребляемая мощность 1,3 кВА
Давление воздуха от 0,45 до 0,7 МПа
Вакуумное давление от 100 до 53 кПа
Габариты Ширина 1142 мм
Глубина 1229 мм
Высота 933 мм
Масса 800 кг
Управление GPIB
Опции Держатель пластин с подогревом до +200°С
Держатель пластин с охлаждением до -60°С
Система автоматической смены пробкарты
Устройство очистки пробников
Автоматическая подстройка на тестовые площадки
Автоматическая подстройка высоты иголок
Инспекция следов контактирования пробников
Одновременное контактирование с несколькими кристаллами
Устройство чернильной маркировки
Держатель пластин для высокочастотного тестирования
Держатели для тонких пластин (от 80 мкм)
Инспекция следов контактирования пробников
Смежные продукты
image
Зондовая станция UF190R предназначена для автоматической загрузки/выгрузки, позиционирования и установки полупроводниковых пластин диаметром 4 дюйма, 5 дюймов, 6 дюймов и 8 дюймов на держатель (chuck) станции для их тестирования с помощью тестеров параметрического и функционального контроля микросхем (FT-17HF и FT-17DT производства ООО "Совтест АТЕ"/ J750, MicroFLEX и UltraFLEX производства Teradyne/ Verigy V93000 производства Advantest и т.д)
Accretech
image
Зондовые установки применяются в производстве микроэлектроники и предназначены для автоматического позиционирования и установки полупроводниковых пластин в держателе для их тестирования с помощью тестеров параметрического и функционального контроля микросхем (FT-17HF и FT-17DT производства ООО "Совтест АТЕ"/ J750, MicroFLEX и UltraFLEX производства Teradyne/ Verigy V93000 производства Advantest и т.д).
Accretech
image
Зондовые установки применяются в производстве микроэлектроники и предназначены для автоматического позиционирования и установки полупроводниковых пластин в держателе для их тестирования с помощью тестеров параметрического и функционального контроля микросхем (FT-17HF и FT-17DT производства ООО "Совтест АТЕ"/ J750, MicroFLEX и UltraFLEX производства Teradyne/ Verigy V93000 производства Advantest и т.д).
Accretech
image
Зондовая станция UF190R предназначена для автоматической загрузки/выгрузки, позиционирования и установки полупроводниковых пластин диаметром 4 дюйма, 5 дюймов, 6 дюймов и 8 дюймов на держатель (chuck) станции для их тестирования с помощью тестеров параметрического и функционального контроля микросхем (FT-17HF и FT-17DT производства ООО "Совтест АТЕ"/ J750, MicroFLEX и UltraFLEX производства Teradyne/ Verigy V93000 производства Advantest и т.д)
Accretech
Автоматическая зондовая станция UF200R Автоматическая зондовая станция UF3000EX-e
Отправить запрос