Результаты успешно подтвержденных характеристик были представлены в специальном отчете от РНИИ. Важной особенностью представляемого МЭМС-акселерометра является то, что его чувствительный элемент изготавливается из кремния по технологии глубокого реактивного травления. При помощи этой технологии можно получать структуры с высоким аспектным разрешением (соотношение ширины структуры к глубине).
Высокое аспектное соотношение структур механической части акселерометров, изготовленных по этой технологии, дает высокую точность и линейность измерений.
В настоящее время на мировом рынке практически нет акселерометров, которые бы одновременно обладали широким диапазоном измерения ускорений, высокой точностью, надежностью и возможностью измерения ускорений одновременно по нескольким осям, в то время как у нового акселерометра SV30g оптимально сочетается большой диапазон измерений (±30g) и высокое разрешение (1,8 mg). Эти особенности делают наше изделие поистине уникальным для российского и мирового рынка.
По части электроники в SV30g используется высокофункциональный цифровой преобразователь, базирующийся на технологиях CMOS (ASIC). При его изготовлении учитывались последние достижения всей разработки интегральных микросхем для прецизионных измерений времени. Это позволило приспособить измерение времени как природной величины к измерению общей инструментальной категории-емкости. ASIC, основанный на технологии время-цифровых преобразований, обладает такими выдающимися особенностями, как очень низкое энергопотребление, высокая точность и широкий измерительный диапазон.
При этом использование стандартизированных CMOS-технологий обеспечивает преимущество в серийном и даже массовом производстве. В то же время налаженная кооперация с основными заказчиками акселерометров гарантирует высокое качество и надежность нашей продукции для широкого круга потребителей.
В дальнейшие планы предприятий входит создание акселерометра SV30g в формате SMD (с интерфейсом SPI), а также расширение диапазона измерений изделия до ±60g. Параллельно будет решаться вопрос по внесению новых акселерометров в государственный реестр средств измерений.
С учетом сказанного, предприятия «Совтест АТЕ» и «РАМЭМС» декларируют не только дальнейшую тенденцию расширения номенклатуры своей МЭМС-продукции, но и обращаются к своим заказчикам с просьбой об информировании о своих потребностях и предложениях. Такой подход гарантирует, что все новые решения, реализованные в новых МЭМС-акселерометрах, смогут быть реализованы и в других направлениях современных ультрапрецизионных технологий.
*Примечание:
АО «РНИИ «Электронстандарт» является ведущим российским исследовательским институтом по обеспечению качества и надежности электронной компонентной базы. Институт работает по следующим направлениям:
• Исследования надежности и стойкости электронной компонентной базы и радиоэлектронной аппаратуры;
• Экспертиза и анализ отказов ЭКБ и РЭА с применением современных физико-технических методов и средств;
• Квалификационные, сертификационные и отбраковочные испытания ЭКБ отечественного и иностранного производства;
• Разработка НТД и формирование фонда нормативных документов на ЭКБ;
• Сертификация систем менеджмента качества.