ООО «Совтест АТЕ» успешно завершило проект по изготовлению двухосевого МЭМС-акселерометра с диапазоном измеряемых ускорений ± 30g, выполненного по технологии глубокого реактивного травления. Полученные макетные образцы акселерометра в настоящий момент проходят сертификационные испытания на соответствие международным стандартам, по результатам которых будет рассматриваться возможность создания серийного производства данных изделий в России. Стоит отметить, что это первый российский МЭМС-акселерометр, работа над которым велась на протяжении нескольких лет совместно с ведущими немецкими институтами и «Русской Ассоциацией МЭМС».
Глубокое анизотропное травление – единственный на сегодняшний день способ продвинуться вперед в создании высокочувствительных микросистем сложной формы. Это стандартный метод изготовления МЭМС, используемый многими крупными фирмами (Bosch, STM, Sony, Freescale и др.). Данная технология производства позволяет получать структуры с высоким аспектным разрешением (соотношение ширины структуры к глубине), что в свою очередь обеспечивает высокую точность и линейность измерений, а также ряд других преимуществ.
По мнению зарубежных партнеров, МЭМС-акселерометр ± 30g производства «Совтест АТЕ» является уникальным по сочетанию своих характеристик и не имеет аналогов на мировом рынке. Изделие обладает следующими достоинствами:
• минимальные габаритно-весовые характеристики,
• высокая точность и надежность,
• высокая стойкость к повреждающим факторам (удары, вибрация, резкие ускорения и другие помехи),
• широкий диапазон измеряемых ускорений,
• крайне малое электропотребление,
• оптимальная стоимость.
В январе 2012 года планируется провести ряд испытаний МЭМС-акселерометра на современной центрифуге, которая будет установлена в испытательной лаборатории «Совтест АТЕ».
В России разработка и производство МЭМС является одним из наиболее перспективных направлений инновационного развития экономики страны. Это связано в том числе и с широкой сферой применения данных изделий. Например, МЭМС-акселерометр ± 30g может быть использован в промышленной электронике, транспортной сфере, автомобилестроении, а также в медицине, нефтегазовой отрасли и многих других.
В настоящий момент отечественный МЭМС-рынок находится в стадии активного роста и обладает большим потенциалом для развития данного направления. В связи с этим ООО «Совтест АТЕ» рассматривает возможность по разработке и производству МЭМС-акселерометра ±60g.
