
Данная установка стала логическим продолжением модельного ряда компании и ориентирована на всё возрастающий спрос на оборудование для работы с пластинами диаметром до 300 мм. Установку выгодно отличают наличие высокоточной системы совмещения, мощной оптики и самого современного роботизированного решения для перемещения пластин от фирмы Milara. Как и ранее зарекомендовавшие себя модели компании, новая установка также обеспечит своим Заказчикам высокую надёжность и производительность при конкурентной стоимости.

Одной из уникальных особенностей новой модели является функция Quadcam, обеспечивающая более эффективное использование системы совмещения за счёт отсутствия необходимости перефокусировки при смене увеличения. Теперь процесс экспонирования и переналадки занимает ещё меньше времени.

По традиции, установка может оснащаться УФ модулями с различным перекрытием УФ спектра от стандартного 350–450 нм до Deep UV (220–280 нм), модулем совмещения по обратной стороне, а также держателями пластин/подложек и масок различных форм и размеров.
Вложение | Размер |
---|---|
NXQ8012.pdf | 4.53 МБ |