В последнее время мы наблюдаем стремительное развитие микроэлектроники, микроструктурных технологий, точного машиностроения, генной инженерии, биотехнологий. Данные отрасли перешли на новый уровень – микроэлектроника и, следовательно, ужесточились требования к производственному процессу, который требует оборудования, подходящего для использования в чистых комнатах. Например, термообработка и сушка, в производстве интегральных микросхем, при максимально возможном высоком классе чистоты является условием исправной работы производимых изделий.
Понимая актуальность предоставления инновационных решений в данной сфере, компания Votsch Industrietechnik GmbH разработала в тесном сотрудничестве с ведущими корпорациями в полупроводниковой промышленности системы сушильные шкафы серии VFT для чистых комнат. Данное оборудование соответствует высочайшим требованиям чистых комнат и может быть использовано в чистых помещениях.
Модельный ряд представлен семью типоразмерами с объемом рабочего пространства от 60 до 3 125 л и номинальной температурой 230°С, 300°С и 350°С.
Ламинарный поток воздуха обеспечивает равномерное распределение температуры в тестовом пространстве. Высокоэффективный НЕРА фильтр гарантирует очистку воздуха от микрочастиц до класса 100 в соответствии со стандартом US Federal 209. Удобная в использовании цифровая система управления Mincon/32 постоянно контролирует процесс сушки, позволяет создать специальные программы сушки, информирует об уровне загрязненности системы фильтрации воздуха.