Cовременное тестовое оборудование и технологии
Рус Eng

04-02
2021
Nikon BW – контроль профиля поверхности полупроводниковой пластины

ООО «Совтест АТЕ» осуществило поставку и ввод в эксплуатацию оптического 3D профилометра BW-S500 производства Nikon (Япония) на одном из предприятий Санкт-Петербурга для контроля профиля поверхности полупроводниковых пластин.

Оптические профилометры BW – это интерферометрические системы, работающие в белом свете.


Компания Nikon разработала и запатентовала собственную технологию измерения профиля поверхности, основанную на методе сканирующей оптической интерферометрии. Благодаря этой технологии разрешение по вертикали может достигать 1 пикометра (пм), что обеспечивает лучшее измерение высоты, чем методом атомно-силовой микроскопии.


Интегрируя существующую линейку промышленных микроскопов Nikon (LV150, LV100/L200, L300) с технологией интерферометрии белого света, Nikon позволяет комбинировать функции профилометра со стандартными оптическими методами, как светлое/темное поле, поляризация, ДИК и эпифлуоресценция. Это делает профилометр серии BW действительно уникальным в своем классе решением для задач измерений, контроля и исследований.

Принцип измерения


Система BW создает точное трехмерное изображение поверхности на основе данных о высоте для каждого пикселя.


Назначение и области применения

Оптические профилометры Nikon серии BW являются незаменимым инструментом для анализа поверхности и шероховатости таких материалов, как стекло, керамика, полупроводниковые пластины, подшипники, сенсоры, тонкие пленки, графен, пресс-формы, резина, металл, пластик и многое другое.

Серия профилометров BW делится на

  • модели с высокоскоростной и высокоточной камерой (2000 fps, скорость сканирования 4 с), предназначенные для измерений гладких поверхностей, таких как стекло или полупроводниковые пластины;
  • модели с камерой высокого разрешения (4,18 Мп, скорость сканирования 16 с) – для измерений как гладких, так и неровных поверхностей.

Пример отчета


В случае Вашей заинтересованности в данном оборудовании, обратитесь к специалистам ООО «Совтест АТЕ», направив официальный запрос с сайта компании.

Отправить запрос