Зондовая установка предназначена для работы со стандартными полупроводниковыми пластинами диаметром 4 ̋, 5 ̋ , 6 ̋ и 8 ̋.
Зондовая установка обеспечивает работы загрузку/выгрузку пластин в стандартные кассеты на 13 позиций для пластин диаметром 4 ̋, 5 ̋, 6 ̋ и 8 ̋.
Зондовая установка обеспечивает работу с пластинами толщиной от 100 до 2200 мкм (поддерживает загрузку тонких пластин)
Для обеспечения электроконтроля полупроводниковых пластин, зондовая станция обеспечивает возможность стыковки с контрольно-измерительным оборудованием.
Характеристика оборудования:| Наименование параметра | Величина параметра | |
| Тип размещения | Напольный | |
| Габаритные размеры базового блока (ШхГхВ) | 1124х1158х955мм | |
| Вес установки | 1200 кг | |
| Питание | 230В 50Гц | |
| Потребляемая мощность | Не более 3 кВА, включая подогрев держателя пластин. 1ф. | |
| Диаметр тестируемых пластин | 4″， 5″， 6″，8″ | |
| Точность позиционирования | ± 2 мкм | |
| Температурный диапазон | - 45~200℃ | |
| Интерфейс | GPIB, RS232 | |
| Перемещение держателя X/Y | ±120 мм | |
| Толщина пластины | От 100 до 2200 мкм ( Наличие опции для работы с тонкими пластинами) | |
| Вес пластины | Не более 500 г | |
| Размер контактной площадки | 200-100000 мкм | |
| Ось ХУ | ход по осях | Х: 260 мм , У: 450 мм |
| повторяемость | менее ± 1мкм | |
| разрешение | 0,1 мкм | |
| скорость перемещения по осям | 200 мм/сек | |
| Ось Z | полный ход по оси | 80 мм, контактирование при ходе от 60 до 80 мм |
| повторяемость | менее ± 1мкм | |
| разрешение | 0,1 мкм | |
| скорость перемещения по оси | 80 мм/сек | |
| Ось Ɵ | диапазон вращения по Theta | ±10° |
| точность | 1 мкм | |
| разрешение | 0.1μm（0.00004°） | |
| Плоскостность столика | 20 мкм ( при температуре от 20°С до 200°С) | |
| Диапазон вращения по Theta | ±10° (с шагом 0.00004°) | |
| Поддерживаемый размер кристалла | от 0.20 до 100 мм | |
| LCD дисплей не менее 15 дюймов | Сенсорное управление, цветной дисплей | |
| Максимальное напряжение по линиям измерительного оборудования (измерительное оборудование в комплект поставки не входит) | до 3000 В | |
| Опции: | По запросу | |
