Cовременное тестовое оборудование и технологии
Рус Eng

Полностью автоматическая установка совмещения и сращивания пластин модели FAB12

AML

Метод кассетной загрузки пластин в установке FAB12 дает дополнительное преимущество системам сращивания компании AML, обеспечивая высокую производительность как для пилотных партий, так и для крупносерийного производства

Высокая производительность системы обеспечивается одновременными процессами выравнивания пластины, нагрева и вакуумирования. При совмещении пластин на поверхностях их реперные отметки не делаются, все процессы совмещения выполняются с помощью оптики. Благодаря совмещению во время нагрева система обеспечивает более точные результаты постмонтажного совмещения. Нагрев и охлаждение полностью контролируются. Смена оснастки для работы с разными пластинами занимает всего 10 минут. Данное оборудование позволяет выполнять сращивание нескольких пластин (более 2), общей толщиной до 8 мм. 
Система полностью управляется с ПК, через программное обеспечение в ручном и в автоматическом режимах. Все параметры сращивания (ток, напряжение, температура, давление в камере, усилие монтажа, время, программы выполнения процессов и т.д.) задаются оператором. 
Оптическая система состоит из двух цветных камер, дающих изображения двух соединяемых поверхностей (в увеличении).  

Отличительные особенности:
  • In-situ процесс совмещения – одновременный нагрев, откачка и совмещение дают высокую производительность в одной рабочей камере – не требуется кластерное оборудование
  • Модули автоматизации Brooks (кассетная загрузка, робот)
  • Диаметр пластин 150, 200 и 300 мм 
  • 1 мкм точность совмещения
  • Низкая стоимость владения
  • Соответствие SEGS/GEM, SECS300&E84
  • Процессы анодной сварки, прямого сращивания, термокомпрессия, адгезионное соединений  и стеклоспай 
  • Все процессы, включая совмещение, производятся в одной рабочей камере

Области применения:
  • Изготовление МЭМС устройств
  • Корпусирование на уровне пластины
  • Создание 3Д сборок

Опции:
  • УФ обработка
  • Конфигурация «сквозь стену» 
  • ISO1 минибокс чистоты (ламинарный поток между кассетным загрузчиком и рабочей камерой)

Технические характеристики
Размер пластин 150, 200 и 300 мм
Толщина пластин Макс. 6,5 мм (сращенные)
Захват пластин 3 мм по кромке зона исключения
Максимальная температура +560 °С
Базовое давление 10-6 мбар
Время откачки 5 мин до 10-5 мбар
Максимальное усилие 15 кН
Количество кассет 2 или 3
Порты для рабочих газов 4
Совмещение 1 мкм точность. Прозрачные и не прозрачные, реперные знаки сверху и снизу пластины 
Анодная сварка 2,5 кВ DC, 40 мА


Смежные продукты
image
Система сращивания пластин модели AWB-04 предназначена для выполнения совмещенного анодного, эвтектического (высоко- и низкотемпературного) монтажа, монтажа на клей, термокомпрессии и монтажа стеклокерамики.
AML
Система совмещения/сращивания пластин/подложек AWB-04
Отправить запрос