- Утонение, шлифовка, полировка пластин
- Резка и скрайбирование пластин и подложек
- Совмещение и сращивание пластин
- Фотолитография
- Термические процессы
Свернуть
Развернуть
Промышленные установки совмещения и экспонирования с...
Установки серии NXQ8000 представляют собой промышленные системы для совмещения и экспонирования с возможностью инспекции ранее совмещенных...
Данная система предназначена на проведения процессов ...
Отличительные особенности:
- Модульный дизайн
- Все процессы выполняются в одной установке
- Сенсорный цветной экран управления...
Данная система предназначена на проведения процессов ...
Данная система предназначена на проведения процессов нанесения, задубливания и проявления фоторезиста, а также промывки. Все процессы выполняются...
Установки совмещения и экспонирования серии NXQ4000 соче...
Серия полуавтоматических установок совмещения и экспонирования NXQ4000 идеально подходит для университетов и опытных производств так, как...
Фотолитография – это процесс, используемый в микроэлектронике для передачи изображения на подложку или пластину. Источник света, проходя через шаблон, падает на подложку с предварительно нанесённым на неё фоторезистом. После серии химических обработок фоторезист покрывает только требуемые участки изделия. Современные пластины при производстве ИС могут проходить через процесс фотолитографии до 50 раз.
Также для обеспечения процесса фотолитографии могут понадобится установки для сопутствующих процессов такие как:
1. Установки нанесения резиста
2. Установки сушки резиста
3. Установки проявления резиста
На сегодня, существует ряд установок, которые могут выполнять несколько указанных выше процессов.
Помимо установок фотолитографии, использующих шаблон для засветки подложки, применяются генераторы изображений (установки безмасковой литографии). В таких установках требуемый рисунок загружается в ПО установки и с помощью лазерного или оптического источника происходит его формирование на подложке.