- Утонение, шлифовка, полировка пластин
- Резка и скрайбирование пластин и подложек
- Совмещение и сращивание пластин
- Фотолитография
- Плазмохимические и ионно-лучевые процессы
- Термические процессы
- Оборудование для толстоплёночной технологии
Свернуть
Развернуть