Cовременное тестовое оборудование и технологии
Рус Eng

Автоматическая установка шлифовки и утонения пластин HRG300

Accretech

Установка HRG300 используется в технологиях микроэлектроники для шлифовки и полировки пластин, повышения качества поверхности, планаризации и устранения эффекта изгибания пластин.

Отличительные особенности:
  • Особая конструкция установки, которая позволяет минимизировать механическое воздействие в процессе шлифовки, была достигнута путем размещения рабочего стола в центре направляющих скольжения и перемещения подающего вала на рабочий стол.
  • Обработка изделий в более короткий промежуток времени при единовременном снижении повреждений во время шлифовки. 
  • Шлифовальный диск самозатачивается благодаря высокой жесткости. Данная особенность продлевает срок службы диска.
  • Установка оснащена прибором непрерывного контроля, который позволяет проводить пакетную обработку с соответствующими требованиями, и выполняет обработку при измерении толщины пластины в процессе групповой обработки.
  • Функция определения загрязнения и автоматической заточки шлифовального диска.
Опции:
  • Правка в процессе обработки 
Области применения:
  • Шлифовка и полировка пластин 
  • Планаризация 
Технические характеристики:

Макс. обрабатываемый диаметр (мм) 300 
Диаметр шлифовального диска (мм) 300 
Вращение шлифовального диска (об./мин) 3600 
Вращение рабочего шпинделя (об./мин) 400 
Шпиндель шлифовального диска (кВт) 11 
Рабочий шпиндель (кВт) 2 
Автоматический мониторинг Прибор непрерывного контроля в процессе обработки (возможна пакетная обработка) 
Точность шлифовки (мкм) 0.1 
Беспрерывная правка опция 
Габаритные размеры (мм) 1540х1880х2010 ШГВ 
Вес (кг) 3700 


Смежные продукты
image
Установка HRG200X с двумя управляемыми координатами может осуществлять полностью автоматическую шлифовку без повреждения образца при минимальной затрате времени. Очевидными преимуществами системы является низкая стоимость, высокая точность и окончательная шлифовка до зеркальной поверхности.
Accretech
image
Полуавтоматическая установка модели SP-L1 для полировки с загрузкой по одному образцу
IMT
image
Установка PG3000RMX сочетает в себе несколько свойств – она может одновременно утонять пластины и удалять повреждения, микротрещины, сколы, образуемые при грубой их шлифовке.
Accretech
image
Полуавтоматическая установка полировки Rana-3
IMT
image
Установка роликовой полировки поверхности SP-As1
IMT
image
Компактная система химико-механической планаризации поверхности ChaMP
Accretech
Автоматическая установка шлифовки и утонения пластин HRG200
Отправить запрос