Cовременное тестовое оборудование и технологии
Рус Eng

Компактная система химико-механической планаризации поверхности ChaMP

Accretech

Компактная система химико-механической планаризации поверхности ChaMP

ChaMP является компактной высокопроизводительной системой химико-механической планаризации поверхности. Система предназначена для массового производства полупроводниковых устройств и идеально подходит для встраивания в линию.

Отличительные особенности:
  • Малая занимаемая площадь
  • Высокая производительность химико-механической планаризации поверхности → Ноу-хау для массового производства
  • Возможность адаптации в соответствии со специфическими потребностями пользователя → Система может использоваться в лабораториях, а также на различных производствах от опытного до массового 
  • Возможность единовременной полировки нескольких пластин различного размера обеспечивается тем, что система имеет несколько рабочих столиков размерами 50-300 мм.

Опции:
  • Подающее устройство для пластин для полной автоматизации процесса 
  • Система очистки поверхности
  • Функция контроля поверхности отдельных участков пластины

Области применения:
  • Шлифовка и полировка пластин 
  • Планаризация 

Смежные продукты
image
Установка HRG300 используется в технологиях микроэлектроники для шлифовки и полировки пластин, повышения качества поверхности, планаризации и устранения эффекта изгибания пластин.
Accretech
image
Установка HRG200X с двумя управляемыми координатами может осуществлять полностью автоматическую шлифовку без повреждения образца при минимальной затрате времени. Очевидными преимуществами системы является низкая стоимость, высокая точность и окончательная шлифовка до зеркальной поверхности.
Accretech
image
Полуавтоматическая установка модели SP-L1 для полировки с загрузкой по одному образцу
IMT
image
Установка PG3000RMX сочетает в себе несколько свойств – она может одновременно утонять пластины и удалять повреждения, микротрещины, сколы, образуемые при грубой их шлифовке.
Accretech
image
Полуавтоматическая установка полировки Rana-3
IMT
image
Установка роликовой полировки поверхности SP-As1
IMT
Установка роликовой полировки поверхности SP-As1
Отправить запрос