Cовременное тестовое оборудование и технологии
Рус Eng

Hengli Elitek, Китай

Компания Hengli (Китай) была основана в 1992 г., на сегодня, она является самым современным государственным предприятием, которое специализируется в основном на разработке, производстве и продаже промышленный печей и оборудования для широкого спектра термических процессов. Оборудование компании Hengli используется в различных областях промышленности и в частности микроэлектронике: производство толстопленочных схем, электронных компонентов, военной электроники, электронных материалов, материалов для аккумуляторных батарей, в фотовольтаике, создании новых материалов и других областях.

Оглавление
  1. ИК конвейерные печи сушки серии HSG
  2. Конвейерные печи вжигания толстых пленок серии HSK
  3. Вакуумные печи серии HXV
  4. ИК конвейерные конвекционные печи оплавления серии HSF
  5. Камерные печи с конвекционным нагревом HXF
  6. Высокотемпературные конвейерные атмосферные печи серии HSA
  7. Трубчатые печи серии HGL
  8. Цилиндрические печи колокольного типа серии HZL
  9. Толкательные печи серии HT
  10. Высокотемпературные камерные печи серии HXL
  11. Низкотемпературные печи термического распада серии HSA
  12. Высокотемпературные печи термической кристаллизации
  13. Роликовые печи для сушки или обжига
  14. Сушильные печи с быстрым нагревом серии HSG
  15. Сушильные печи с быстрым нагревом серии HSH
  16. Системы травления и отмывки
  17. Линейка установок ручного нанесения покрытий
  18. Линейка установок нанесения покрытий
  19. Линейка установок для производства LTCC
  20. Линейка установок для производства толстоплёночных гибридных ИС

ИК конвейерные печи сушки серии HSG



Области применения: сушка и отверждение изделий (солнечные панели, функциональная керамика, солнечные элементы, толстые пленки, адгезивы).

Особенности: ИК или конвекционный нагрев, контроль и управление зон нагрева и охлаждения, высокая эффективность, ориентированность на энергосбережение и простота конструкции  эксплуатации. 

Опции: ПК управление, сенсорный экран, система УЗ очистки конвейерной ленты


Возможен дизайн и изготовление печей по специальному заказу Клиента

Конвейерные печи вжигания толстых пленок серии HSK



Области применения: Высокотемпературное спекание и термическая обработка толстопленочных подложек и ИС, безкорпусных резисторов, нагревателей, LTCC изделий, серебросодержащих выводов электронных компонентов, LED и в других областях. 

Особенности: Керамические нагреватели, атмосферная система и рабочая камера были разработаны специально для толстопленочных технологий, контроль поддержания температуры и скорости конвейера, равномерность температуры, многоуровневое управление, простота эксплуатации и надежность, длительный срок службы.

Опции: ПК управление, сенсорный экран, система УЗ очистки конвейерной ленты, от 2 до 6 зон контроля, расходометр, устройство записи температурных профилей. 



Вакуумные печи серии HXV

Области применения: Сушка толстопленочных, гибридных интегральных схем в вакууме перед процессам герметизации, более всего подходит для аэрокосмической промышленности и изготовления изделий, к которым предъявляются высокие требования к влажности; сушка полупроводниковых и электронных компонентов подсушенным воздухом; вакуумная сушка токопроводящего клея; вакуумное спекание клея на магнитных материалах, высокотемпературное спекание.

Особенности: Быстрая сушка; точный контроль температуры; возможность одновременного программирования температуры, уровня вакуума и времени.

Опции: Система контроля, вакуумные помпы.



ИК конвейерные конвекционные печи оплавления серии HSF


Области применения: Поверхностный монтаж модулей, чипов, микросборок, печатных плат и силовых устройств.

Особенности: Несколько режимов нагрева, ИК или конвекционный нагрев, высокая эффективность, позволяет выполнять оплавление SMT компонентов с высокой плотностью и высокой теплоемкостью, равномерный контроль температуры, простота конструкции и надежность.

Опции: ПК управление, сенсорный экран, устройство записи температурных профилей. 


Камерные печи с конвекционным нагревом HXF


Области применения: Отверждение, отжиг и сушка конструкционной керамики, функциональной керамики, электронных компонентов, полупроводниковых корпусов и других электронных компонентов в атмосфере азота и воздуха. 

Особенности: Для печей, которые используют азот, содержание кислорода составляет менее 10 ч./млн, обеспечение класса чистоты до ISO 5, продув горячим воздухом, точность и равномерность температуры ±3°C, оптимизированное энергопотребление.

Опции: ПК управление, сенсорный экран, расходомер, функция проверки температурных профилей. 


Высокотемпературные конвейерные атмосферные печи серии HSA


Области применения: Высокотемпературный обжиг, окисление, высокотемпературная пайка, отжиг и термическая обработка корпусов, разъемов для авиационной техники, герметичных реле, DBC, медных паст MLCC, пьезоэлектрической медной пасты и т.д.

Особенности: Контроль поддержания равномерной температуры, точный контроль объема кислорода, низкое потребление газа, высокая однородность атмосферы, плавный и прочный привод конвейера, высокая эффективность и оптимизированное энергопотребление, специальная система поглощения шума, простота в эксплуатации, безопасность и надежность, длительный срок службы. Отвечает технологическим требованиям для корпусирования, депарафинизации, окисления, герметизации, высокотемпературной пайки, подходят для серийного производства компрессорных терминалов, крышек аккумуляторных батарей, DBC и т. д. 

Опции: ПК управление, сенсорный экран, система УЗ очистки конвейерной ленты, расходомер, устройство записи температурных профилей. 


Трубчатые печи серии HGL


Области применения: Групповая обработка и производство корпусов, окисление, герметизация,  отжиг и высокотемпературная пайка.

Особенности: Контроль поддержания равномерной температуры, контроль объема кислорода, низкое потребление газа, простота в эксплуатации.

Опции: ПК управление, сенсорный экран, расходомер, устройство записи температурных профилей. 


Цилиндрические печи колокольного типа серии HZL


Области применения: Обжиг магнитных материалов, СВЧ-ферритов, высокотехнологичной керамики, электронных компонентов, HTCC и т.д.

Особенности: Улучшенная камера из керамического волокна, настройка и поддержание атмосферы, несколько зон, простая загрузка и выгрузка, оптимизированное энергопотребление, равномерность поддержания температуры ±3°C, длительный срок службы.

Опции: ПК управление, сенсорный экран, расходомер, устройство записи температурных профилей. 


Толкательные печи серии HT


Области применения: Выжигание связующего вещества, отжиг и спекание пьезоэлектрических материалов, чувствительных к давлению датчиков, фильтров, технической керамики, диоксидциркониевой керамики и электронных компонентов.

Особенности: 
  • Количество и длина зон определяются в соответствии с техническими требованиями Заказчика;
  • Пропорциональный регулятор верхнего и нижнего нагрева,  высокая производительность и оптимизированное энергопотребление, точный контроль температуры;
  • Рабочая камера и атмосферная система изготавливаются в соответствии с техническими требованиями Заказчика;
  • Надежная и удобная система привода, возможность установки гидравлического или механического привода.

Опции: ПК управление, сенсорный экран, расходомер, устройство записи температурных профилей. 


Высокотемпературные камерные печи серии HXL


Области применения: Вакуумное напыление CIGS (диселенид галлия-индия-меди), устройств фотовольтаики, графена и других материалов.

Особенности: 
  • 3 варианта дизайна камеры: испарительная камера из твердотельного селена, камера с серосодержащим источником испарения, реакционная камера с пленкой ионизации и вакуумного осаждения;
  • Используется дополнительная тепловая изоляция между каждой камерой, для удаления конденсата паров селена и серы;
  • В реакционной камере используется муфельная структура, выполненная из SUS316L для улучшения герметизации;
  • Нагревательные плиты из нержавеющей стали, установленные в верхней и нижней частях реакционной камеры, обеспечивают быстрый нагрев и охлаждение, а также хорошую герметичность вакуума.

Опции: ПК управление, сенсорный экран, расходомер. 



Низкотемпературные печи термического распада серии HSA



Области применения: Низкотемпературное термическое разложение сверхпроводящих материалов в атмосфере воздуха, воды и смешанных средах. 

Особенности: Трехуровневая муфельная структура обеспечивает равномерность температуры и точный контроль атмосферы. Камера печи может иметь модульную структуру.

Опции: ПК управление, сенсорный экран, расходомер, устройство записи температурных профилей. 


Высокотемпературные печи термической кристаллизации


Области применения: Специальная обработка сверхпроводящих материалов.

Особенности: Компьютерная система управления, управление намоткой и размоткой, регулирование давления, контроль вакуума и т. д. Уровень вакуума в этой системе может достигать 5 Па. Используется механическая помпа и вакуумная помпа Рутса с комплексом воздухоотводов, рабочее давление в камере регулируется: 50-200 Па., максимальная температура +1000 °C, разработана для специальной обработки сверхпроводящих материалов.

Роликовые печи для сушки или обжига


Области применения: Выжигание связующего вещества, предварительный обжиг, обжиг и отжиг пьезоэлектрических, чувствительных к давлению, резисторов с положительным и отрицательным ТКС, фильтров, кремния, материалов из диоксидциркониевой керамики и электронных компонентов.

Особенности: 
  • Экономия площади,  оптимизированное энергопотребление, повышение эффективности работы;
  • Компьютерная система управления собственной разработки, однозонная многоточечная пропорциональная регулировка температуры, равномерность температуры ± 3 ° C;
  • Направляющее устройство;
  • Запатентованная система нагрева.
Сушильные печи с быстрым нагревом серии HSG


Области применения: Быстрая сушка кремниевых подложек, DSSC (сенсибилизированный красителем солнечный элемент) и других тонкопленочных субстратов солнечных элементов.

Особенности: Инфракрасные лампы, быстрый нагрев, высокая производительность, возможность настройки длины зоны, скорости конвейера, атмосферы в камере и вытяжки, управление точностью температуры и скоростью конвейера. 

Опции: ПК управление, сенсорный экран, система УЗ очистки конвейерной ленты, устройство записи температурных профилей


Сушильные печи с быстрым нагревом серии HSH


Особенности: Инфракрасные лампы, контролируемая скорость нагрева и охлаждения, точный контроль температуры, оптимальный температурный профиль для оплавления пасты для солнечных батарей, специальная конструкция камеры позволяет избежать дефектов кремниевой пластины, равномерный нагрев всех ламп управление точностью температуры и скоростью конвейера. Простота в эксплуатации, надежность и минимизация издержек.


Системы травления и отмывки


Области применения: Используется для травления, отмывки и других процессов мокрой химической обработки, применяемых для светодиодов, интегральных микросхем и полупроводниковых подложек из различных материалов в процессе их производства.

Производственные режимы: Ручной, полуавтоматический, автоматический режимы.

Дополнительные модули: Интегрированная система очистки использованной воды, специальный задерживающий механизм, встроенный циркуляционный фильтр для входных лотков.

Особенности:


Линейка установок ручного нанесения покрытий 


Области применения: Используются при обработке поверхности, производстве полупроводников, новых материалов и т.д. для нанесения гальванопокрытия в барабане, покрытия деталей на подвесках, металлизации при механическом колебании.

Процессы и расположение: Все процессы выполняются в соответствии с техническими требованиями заказчика. Есть 3 варианта расположения системы "I" "L" и "U". 

Дополнительные модули: Интегрированная система очистки использованной воды, интегрированная система вытяжки отработанных газов, механизм восстановления металлов, система для повторного использования воды «отсутствие сброса», система анализа растворов, помпа Flo-King. 

Особенности:
  • Каждый технологический блок имеет модульную конструкцию
  • Простота обслуживания и эксплуатации
  • Панели управления находятся в легкодоступном для оператора месте. Системы контроля высокого и низкого напряжения разрабатываются отдельно для каждой поставляемой линии
  • Система мониторинга утечки раствора
  • Аккуратный внешний вид
Линейка установок нанесения покрытий 


Области применения: В основном используется в военной промышленности, производстве электроники, новых материалов и других изделий, требующих высокой точности, в мелкомасштабных процессах мокрой химической обработки, таких как гальваническое осаждение, гальванопластика, нанесение покрытия химическим методом, термическое оксидирование, травление и очистка и т.д. 

Производственные режимы: Ручной, полуавтоматический, автоматический режимы.

Стандартная система: 2000х1200х1900мм, 1500х200х900мм. 1200х1200х1900мм (ДШВ), система конфигурируется в соответствии с техническими требованиями Заказчика.

Дополнительные модули: Интегрированная система очистки использованной воды, интегрированная система вытяжки отработанных газов, механизм восстановления металлов, система для повторного использования воды «отсутствие сброса», специальный задерживающий механизм, встроенный циркуляционный фильтр для входных лотков. 

Особенности:


Линейка установок для производства LTCC


Области применения: Может использоваться как в качестве основного, так и в качестве вспомогательного оборудования для процесса LTCC. Можно заказать линию целиком или отдельные автоматические модули.

Особенности: Линейка конфигурируется в соответствии с техническими требованиями Заказчика.

Линейка установок для производства толстоплёночных гибридных ИС


Области применения: Полная линейка оборудования, включая программное обеспечение для системного управления и контроля процессов ультразвуковой очистки, автоматической лазерной маркировки, загрузки, трафаретной печати, сушки, спекания, дозирования и монтажа для процесса производства толстоплёночных гибридных ИС.

Особенности: Большой опыт разработки подобных линий, улучшенная производительность и контроль процессов.

Смежные продукты
image
Данные печи разработаны для высокотемпературного отжига и термической обработки толстопленочных изделий LTCC; в том числе интегральных схем, отжига диэлектриков и проводников в атмосфере воздуха. Также могут использоваться для обжига серебряных наконечников выводов электронных компонентов и температурной обработки других изделий при средних температурах
Hengli Elitek, Китай
Конвейерные печи вжигания толстых пленок серии HSK
Отправить запрос