Nikon
Разработанные для контроля качества 300-мм пластин и фотошаблонов, микроскопы серии Eclipse L300 соответствуют также требованиям, предъявляемым к конечному контролю качества плоских панелей, включая ЖК-панели.
Выбор из 2-х моделей
L300: Эпископическое освещение
Максимальный размер образца: 300 мм пластины
Диапазон перемещения предметного столика: 354 х 302 мм
Диапазон увеличений: 15х – 1000х (в зависимости от окуляра и объектива)
L300D: Диаскопическое/эпископическое освещение
Максимальный размер образца: 17-дюймовая плоская панель
Диапазон перемещения предметного столика: 354х302 мм (при диаскопическом освещении: 354 х 268 мм)
Диапазон увеличений: 15х – 1000х (в зависимости от окуляра и объектива)
Наблюдение по методу темного поля
Новая оптика с освещением по методу темного поля значительно увеличивает яркость изображений и улучшает возможность обнаружений мельчайших царапин и дефектов рельефа образца.
Наблюдение по методу светлого поля
Система CFI60 от Nikon – удачное сочетание оптической системы CF и «бесконечной» оптики – является залогом получения ярких, высококонтрастных изображений.
Наблюдение по методу Номарски ДИК
В модели L300/300D используется система с одной призмой (призмой Сенармона), которая позволяет проводить наблюдения по методу ДИК при любом увеличении путем простой вставки одной призмы Номарского в револьвер объективов. ДИК-изображения являются четкими и чистыми с минимальными цветовыми оттенками даже при низком увеличении. Высококонтрастный ДИК-слайдер обеспечивает возможность формирования ДИК-изображений с большей чувствительностью.
Совместимая со стандартом SEMI конструкция
Модель L300/L300D соответствует нормам стандарта Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) в отношении безопасности (S7-0703) и эргономичности (S8-1103). При приближении окуляра к оператору предметный столик не касается оператора даже при приближении к нему, что обеспечивает безопасность и удобство наблюдения.
Более надежная защита от статического электричества
На корпус, предметный столик, окуляр (типа L2-TT2) и различные элементы управления нанесены специальные антистатические покрытия. За счет этого увеличивается защита от загрязнений и устраняется риск повреждений образца за счет статического электричества, что увеличивает производительность.
Фиксированная позиция ручки перемещения столика по осям X-Y
Элементы управления для точного перемещения по оси X-Y остаются в одном и том же положении близко к оператору, благодаря чему он не должен двигать рукой, чтобы переместить предметный столик. Так как перемещение образца и фокусировка могут выполняться одной рукой, которая расположена на столе, оператор может сконцентрироваться непосредственно на наблюдении.
Удобное расположение элементов управления
Все основные ручки и кнопки управления расположены на передней части базы, что ускоряет и упрощает работу по просмотру образцов и сводит к минимуму уровень усталости во время долгих наблюдений. Целевой объект для легкой фокусировки
Целевой объект легко вводится в оптический путь и выводится из него, что позволяет легко осуществлять фокусировку при работе с низкоконтрастными образцами, такими как бескорпусные пластины.
Длинные рабочие расстояния и высокие числовые апертуры
Благодаря парфокальному расстоянию 60 мм новая серия микроскопов обладает более длинными рабочими расстояниями и высокими числовыми апертурами. Оптика CFI60 обеспечивает как отличную яркость изображений, так и простоту в работе. Кроме того, оптическая центровка была усовершенствована для минимизации смещений изображений, которые могут произойти при смене увеличения объектива.
Наклоняемый тринокулярный тубус
Наклоняемый тринокулярный тубус отличается сверхшироким полем зрения 25 мм. Угол выходного зрачка можно установить между 0° и 30°, что позволяет пользователям настроить оптимальное положение выходного зрачка и обеспечить удобство наблюдения. В наличии имеется два типа тубусов с различными коэффициентами распределения светового потока для наблюдения/фотопорта: L2-TT2 (100:0 / 20:80) и L2-TT (100:0 / 0:100).
Высокий контраст и минимум засветок
Для минимизации засветок Nikon использовал специальные покрытия объективов и сконструировал их поверхности таким образом, чтобы предотвратить паразитную засветку. Nikon также снизил вероятность засветок, уменьшив отражение внутри окулярного тубуса, за счет чего был достигнут невозможный ранее высочайший контраст.
Оптическая система CFI60
В моделях серии L300 используется оптическая система CFI60 – сочетание знаменитой конструкции CF от Nikon и великолепных характеристик «бесконечной» оптики. CFI60 обеспечивает высокое разрешение, контраст и коэффициент пропускания, а также обладает самым высоким в мире уровнем оптического качества. Яркость изображений была значительно улучшена по сравнению с традиционными микроскопами, благодаря чему данная новая серия подходит для различных задач контроля качества.
Универсальный моторизованный револьвер объективов
Встроенный револьвер объективов является моторизованным шестиместным револьвером с тремя центрируемыми слотами. Смещения изображений, которые происходят во время смены увеличения, можно минимизировать благодаря использованию объективов с улучшенной центровкой и револьвера объективов с функцией центровки. Освещение на мгновение выключается, чтобы защитить глаза оператора при вращении револьвера.