Cовременное тестовое оборудование и технологии
Рус Eng

Установка скрайбирования и разделения пластин S200

Cefori

Установка модели S200 предназначена для скрайбирования и разделения алмазным инструментом полупроводниковых пластин диаметром до 8”.

Установка имеет дружественный интерфейс, проста в эксплуатации даже для начинающих пользователей. Вертикальное позиционирование производится с помощью видеосистемы с электронным перекрестьем. Система обладает высокой жесткостью конструкции, что обеспечивает отсутствие вибрации в процессе работы.

Отличительные особенности:
  • Программирование длины резки
  • Возможность перемещения по оси Z с регулировкой угла поворота
  • ЖК монитор и цветная CCD камера высокого разрешения
  • Алмазный инструмент с функцией регулировки по углу и повороту

Области применения:
  • Скрайбирование полупроводниковых пластин и подложек
  • Разделение пластин на кристаллы

Технические характеристики:

РАБОЧАЯ ГОЛОВКА
Возможность перемещения по оси Z с регулировкой угла поворота
Регулируемая сила скрайбирования от 10 до 300 г
Алмазный инструмент с функцией регулировки по углу и повороту
Смещение инструмента с помощью перекрестия
Точность +/- 5 мкм

РАБОЧИЙ СТОЛ
Держатель подложек до 8”
Вакуумный зажим
Адаптер для рамок и пялец с пластинами
Моторизированное вращение: постоянное или под определенным углом
Настройка положения вращения по двум точкам
Разрешение вращения: 500 000 шагов/один круг
Разрешение перемещения 1 мкм, точность перемещения 5 мкм
Управление движением при помощи джойстика
Скорость скрайбирования 1-100 мм/сек
Программирование длины резки

ВИДЕОСИСТЕМА
Оптическая система и уровень увеличения зависят от применения
Поле обзора стандартное 1 мм
ЖК монитор и цветная CCD камера высокого разрешения
Совмещение: программируемая область/ручное
Генератор перекрестия
LED подсветка

ТРЕБОВАНИЯ К ПОДКЛЮЧЕНИЮ
Электропитание 100/230 В, 50 Вт
Пневмопитание 5 бар
Вакуум 60%

ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ И ВЕС
Габаритные размеры 450x700x500 мм
Вес 80 кг

Смежные продукты
image
Установка S100 предназначена для скрайбирования и разделения алмазным наконечником очень хрупких кристаллов, из таких материалов, как GaAs и Si
Cefori
Ручная установка скрайбирования и разделения хрупких пластин S-100
Отправить запрос