Cовременное тестовое оборудование и технологии
Рус Eng

Установка скрайбирования и разделения пластин S100

Cefori

Установка S100 предназначена для скрайбирования и разделения алмазным наконечником очень хрупких кристаллов, из таких материалов, как GaAs и Si

ВВ установке используется последовательность надрез – разлом, это позволяет избежать загрязнения или повреждения кристалла. Во время скрайбирования для фиксации пластины используется майларовая пленка, после фиксации происходит разламывание пластины на кристаллы с помощью линейного ножа. Пленка защищает кристалл от загрязнения и механических повреждений. Все параметры процесса вводятся оператором. Установка проста в эксплуатации, обладает высокой жесткостью конструкции, что обеспечивает отсутствие вибрации в процессе работы.

Отличительные особенности:
  • Регулируемая сила резки
  • Возможность перемещения по оси Z с регулировкой угла поворота
  • 17-дюймовый ЖК монитор и цветная CCD камера высокого разрешения
  • Автоматический режим или контроль оператором

Области применения:
  • Скрайбирование полупроводниковых пластин и подложек
  • Разделение пластин на кристаллы
Технические характеристики
РАБОЧАЯ ГОЛОВКА
Возможность перемещения по оси Z с регулировкой угла поворота
Регулируемая сила резки 3-100 гр, постоянный вес
Алмазный инструмент с функцией регулировки по углу и повороту
Смещение инструмента с помощью перекрестия
Точность +/- 5 мкм

РАБОЧИЙ СТОЛ
Держатель пластин диаметром до 100 мм
Размеры кристаллов: от 200x200 мкм до 10х10 мм
Минимальная толщина подложек 80 мкм
Ручное вращение на 90º
Разрешение перемещения по X, Y 1 мкм
Управление движением при помощи джойстика
Точность по оси X +/- 5 мкм

ВИДЕОСИСТЕМА
Оптическая система и уровень увеличения зависят от применения
Совмещение: программируемая область/вручную
17-дюймовый ЖК монитор и цветная CCD камера высокого разрешения
Генератор перекрестия
Светодиодная подсветка

МОДУЛЬ РАЗЛОМА
Автоматический режим или контроль оператором
Режим разлома: верхняя сторона защищается пленкой, разлом выполняется снизу
Майларовая  пленка легко снимается, необходима для защиты поверхности от загрязнения
Несколько видов майларовой пленки в зависимости от применения

ТРЕБОВАНИЯ К ПОДКЛЮЧЕНИЮ
Электропитание 220 В, 0.5 КВт
Пневмопитание 5 бар
Вакуум 60%

ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ И ВЕС
Габаритные размеры 450x700x500 мм
Вес 80 кг

Смежные продукты
image
Установка модели S200 предназначена для скрайбирования и разделения алмазным инструментом полупроводниковых пластин диаметром до 8”.
Cefori
Ручная установка скрайбирования и разделения хрупких пластин S-200
Отправить запрос