Cовременное тестовое оборудование и технологии
Рус Eng

Установка вакуумной герметизации моделей 2Z-HVS-200

UniTemp

Установка вакуумной герметизации с двумя отдельными нагреваемыми зонами для подложек диаметром 200 мм

Данные установки предназначены для проведения процессов герметизации (оплавления) МЭМС сенсоров в высоком вакууме до 10-6 млбар. Рабочая камера установки разделена на две независимые нагреваемые зоны: для корпуса сенсора и крышки, см. рисунок ниже. Верхняя и нижняя нагревательные плиты имеют независимый нагрев: верхняя плита нагревается до + 200⁰С, нижняя до +450⁰С. Одновременно можно проводить герметизацию до 6 корпусов. Установка имеет одну управляемую ручным электрическим расходомером газовую линию, что обеспечивает проведение процесса в среде газа. Одной из отличительных особенностей данных систем является возможность активации геттера. Установка проста в эксплуатации и имеет надежную конструкцию.

Отличительные особенности:
  • Нагрев с верхней и с нижней стороны
  • Возможность подключения до 4 линий подачи газа
  • Управление и программирование установкой с помощью встроенного PID контроллера
  • Оптический контроль процесса
  • 6 адаптеров диаметром 42 мм 
  • Программируемые профили температуры
  • Работа в атмосфере азота, кислорода, форминг газа
  • Возможность сохранения до 20 программ 100 шагов каждая

Области применения:
  • Герметизация/оплавление МЭМС сенсоров
  • Активация геттера 
  • Разделение компонентов при термической обработке в 2 рабочих зонах

Опции:
  • Дополнительная линия подачи газа с регулятором массового расхода (максимум 3 единицы)
  • Турбомолекулярная помпа, 10-6 млбар с вакуумным клапаном и датчиком вакуума
  • Замкнутая система охлаждения
  • Термопара

Технические характеристики:

Смежные продукты
image
Печи серии RTP предназначены для проведения процессов в вакууме и в среде инертного газа
UniTemp
image
Печи серии RTP предназначены для проведения процессов в вакууме и в среде инертного газа
UniTemp
image
Печи серии RTP предназначены для проведения процессов в вакууме и в среде инертного газа
UniTemp
image
Печи серии RTP предназначены для проведения процессов в вакууме и в среде инертного газа
UniTemp
image
ПВакуумная печь с возможностью нагрева до 1000 °C для подложек размером 300 x 300 мм
UniTemp
image
Установка вакуумной герметизации с двумя отдельными нагреваемыми зонами для подложек диаметром 100 мм
UniTemp
image
Все системы линейки RSS были разработаны как бюджетное и компактное решение для оплавления припоя и других термических операций. Общий размер нагреваемой рабочей зоны составляет 630 x 210 мм, что позволяет проводить одновременную обработку до 12 пластин диаметром 100 мм каждая при температуре до 300 °C
UniTemp
image
Печь оплавления для проведения различных термических процессов в высоком вакууме с возможностью нагрева до 650 °C
UniTemp
image
Компактаная настольная печь оплавления модели RSS-110-S обеспечивает быстрый набор температуры и высокую скорость охлаждения
image
Компактаная настольная печь оплавления модели RSS-160-S обеспечивает быстрый набор температуры и высокую скорость охлаждения
UniTemp
image
Компактная настольная печь оплавления модели RSS 210-S обеспечивает быстрый набор температуры и высокую скорость охлаждения
UniTemp
image
Печи серии RTP предназначены для проведения процессов в вакууме и в среде инертного газа
UniTemp
image
Компактаная настольная печь оплавления модели RVS-210 обеспечивает быстрый набор температуры и высокую скорость охлаждения и подходит как для безфлюсовой пайки, так и для пайки с флюсом
UniTemp
image
Вакуумная печь оплавления для проведения различных термических процессов с возможностью нагрева до 650 °C
UniTemp
image
Вакуумная печь оплавления для бесфлюсовой пайки и пайки с флюсом с возможностью нагрева до 450 °C
UniTemp
Установка вакуумной герметизации моделей 2Z-HVS-100 RSS 3X210-S компактная вакуумная печь оплавления с 3 нагреваемыми рабочими зонами
Отправить запрос