Cовременное тестовое оборудование и технологии
Рус Eng

19-10
2016
Оптические профилометры серии BW японской фирмы Nikon

В зависимости от решаемых задач за основу профилометра может быть взят один из трех типов микроскопов: измерительный микроскоп серии MM, микроскоп для контроля качества пластин и фотошаблонов L200/L300 или исследовательский микроскоп серии LV. Таким образом, BW-S50X и BW-D50X – это не только профилометры, но и высококлассные микроскопы, позволяющие решать задачи измерений, контроля или исследований.



Компания Nikon разработала и запатентовала собственную технологию измерения профиля поверхности, основанную на методе сканирующей оптической интерферометрии. Благодаря этой технологии разрешение по высоте может достигать 1 пикометра1 (пм), что подтверждается сертификатом компании VLSI Standards (Маунтин-Вью, Калифорния).

Назначение и области применения.
Оптические микроскопы-профилометры серии BW являются незаменимым инструментом для анализа поверхности и шероховатости таких материалов, как стекло, керамика, полупроводниковые пластины, подшипники, сенсоры, тонкие пленки, графен, пресс-формы, резина, металл, пластик и многое другое.

Модели с высокоскоростной (2000 fps, скорость сканирования 4 с) и высокоточной камерой (рис.1) предназначены для измерений гладких поверхностей, таких как стекло или полупроводниковые пластины; модели с камерой высокого разрешения (4,18 Мп, скорость сканирования 16 с) – для измерений как гладких, так и неровных поверхностей (рис.2). 



Принцип действия.
Наблюдение шероховатостей поверхности возможно при получении интерференционной картины. Белый свет, используемый в качестве источника, позволяет увидеть резкий контраст в тех местах, где поверхность образца не имеет неровностей (рис.3, область 1). В местах, где появляется шероховатость, изображение становится менее контрастным (рис.2, область 2), появляются размытия.



Опции.
Для профилометров серии BW доступен ряд опций, например, высокоскоростная камера или камера высокого разрешения, широкий выбор объективов серии DI, пьезо-объективы и револьверы, ручные и моторизированные столики, что позволяет удовлетворить любые требования заказчика.

Результаты измерений шероховатости (общий вид, градиент высот, профиль среза, 3D вид, Sa, Sq, Sz, Ra, Rq, Rz и т.д.) могут быть экспортированы в различные популярные форматы (pdf, MS Excel) вместе с изображениями, построенными на основе полученных данных. 

Кроме того, конструкция системы позволяет комбинировать функции профилометра со стандартными оптическими методами наблюдения, такими как темное поле, светлое поле, поляризация, ДИК, эпифлуоресценция, что делает профилометр BW по-настоящему уникальным в своем классе.




Для получения подробной информации направьте нам официальный запрос
Отправить запрос