Cовременное тестовое оборудование и технологии
Рус Eng

06-12
2011
Первый российский МЭМС-акселерометр, изготовленный по технологии глубокого травления

ООО «Совтест АТЕ» успешно завершило проект по изготовлению двухосевого МЭМС-акселерометра с диапазоном измеряемых ускорений ± 30g, выполненного по технологии глубокого реактивного травления. Полученные макетные образцы акселерометра в настоящий момент проходят сертификационные испытания на соответствие международным стандартам, по результатам которых будет рассматриваться возможность создания серийного производства данных изделий в России. Стоит отметить, что это первый российский МЭМС-акселерометр, работа над которым велась на протяжении нескольких лет совместно с ведущими немецкими институтами и «Русской Ассоциацией МЭМС».

Глубокое анизотропное травление – единственный на сегодняшний день способ продвинуться вперед в создании высокочувствительных микросистем сложной формы. Это стандартный метод изготовления МЭМС, используемый многими крупными фирмами (Bosch, STM, Sony, Freescale и др.). Данная технология производства позволяет получать структуры с высоким аспектным разрешением (соотношение ширины структуры к глубине), что в свою очередь обеспечивает высокую точность и линейность измерений, а также ряд других преимуществ.

По мнению зарубежных партнеров, МЭМС-акселерометр ± 30g производства «Совтест АТЕ» является уникальным по сочетанию своих характеристик и не имеет аналогов на мировом рынке. Изделие обладает следующими достоинствами:
•    минимальные габаритно-весовые характеристики,
•    высокая точность и надежность,
•    высокая стойкость к повреждающим факторам (удары, вибрация, резкие ускорения и другие помехи),
•    широкий диапазон измеряемых ускорений,
•    крайне малое электропотребление,
•    оптимальная стоимость.

В январе 2012 года планируется провести ряд испытаний МЭМС-акселерометра на современной центрифуге, которая будет установлена в испытательной лаборатории «Совтест АТЕ».

В России разработка и производство МЭМС является одним из наиболее перспективных направлений инновационного развития экономики страны. Это связано в том числе и с широкой сферой применения данных изделий. Например, МЭМС-акселерометр ± 30g может быть использован в промышленной электронике, авиакосмической и транспортной сфере, автомобиле- и судостроении, а также в медицине, нефтегазовой отрасли и многих других.

В настоящий момент отечественный МЭМС-рынок находится в стадии активного роста и обладает большим потенциалом для развития данного направления. В связи с этим ООО «Совтест АТЕ» рассматривает возможность по разработке и производству МЭМС-акселерометра  ±60g.

Отправить запрос