На сегодняшний день рынок МЭМС-систем достиг миллиардных оборотов, однако из-за высокой стоимости производства на нем главенствует небольшой перечень устройств, способных принести гарантированный доход, такие как акселерометры, задействованные в смартфонах.
Способ исправить такое положение вещей нашли в Массачусетском технологическом институте, где сконструировали MEMS-газоанализатор без применения дорогих процессов. Датчик был создан с помощью электрораспыления на кремниевую подложку жидкости с хлопьями оксида графена через массив капельниц. После испарения жидкость оставила покрытие толщиной в несколько нанометров. Взаимодействуя с газом, хлопья оксида меняют сопротивление, разницу которого можно измерить. На этом и основано действие датчика, утверждают инженеры Массачусетского технологического института.
По словам исследователей, если бы датчик изготавливался традиционным методом, то потребовались бы температуры около 1000°С для выращивания оксида и, возможно, глубокий вакуум. Но ничего из этого не понадобилось, соответственно себестоимость изготовления датчика оказалась меньше в сто раз. Исследователи уже провели все необходимые испытания и выяснили, что их газоанализатор работает не хуже коммерческих аналогов. Сами капельницы для электрораспыления можно делать с помощью 3D-принтера, благодаря чему появляется возможность несложного создания аппаратов выпуска MEMS-устройств для различных применений. Например, методом электрораспыления можно было бы изготавливать биодатчики новых типов, считают авторы.