Cовременное тестовое оборудование и технологии
Рус Eng

19-01
2016
На фабрике «Ангстрем-Т» запустили станцию подготовки деионизованной воды

Фабрика «Ангстрем-Т» (г. Зеленоград) запустила в работу станцию подготовки деионизованной воды (СДВ) для обеспечения производственных процессов. Общая стоимость проекта составила 11,5 миллионов евро.

«Мы завершили очередной большой этап на пути подготовки нового завода микроэлектроники к запуску. В декабре заработала автономная электростанция, а сегодня мы вводим в эксплуатацию станцию сверхчистой воды», – рассказал генеральный директор АО «Ангстрем-Т» Анатолий Сухопаров.

Вода – один из важнейших компонентов при производстве изделий микроэлектроники. К ее качеству предъявляются чрезвычайно высокие требования. Вода используется для приготовления химических растворов, травления изделий, для промывки кристаллов на пластине и других операций. В зависимости от размера полупроводниковых микроэлементов выделяют четыре типа воды для их производства. На новой СДВ фабрики «Ангстрем-Т» производится сверхчистая вода типа Е-1 – ультрачистая вода с резервом при переходе с основной технологии 90 – 130 нм на более современные с топологическими размерами 65 нм и ниже.

В процессе подготовки деионизированной воды из грунтовой воды удаляются практически все неорганические, органические примеси и ионы. Для этого применяют современные мембранные и ионообменные технологии. Кроме того, при подаче такой воды к оборудованию, изготавливающему микрочипы, она дополнительно проходит через несколько блоков: предочистка, обессоливание, глубокая доочистка (деионизации), дегазация, ультрафиолетовая обработка, ионный обмен и ультрафильтрация.

Отправить запрос