Cовременное тестовое оборудование и технологии
Рус Eng

03-09
2020
Зондовые станции для микроэлектроники от Accretech

Фирма ACCRETECH была основана в Токио в 1949 году и в настоящее время является одним из ведущих мировых поставщиков продуктов сверхточного измерительного оборудования и самого современного оборудования для полупроводниковой промышленности. ACCRETECH закрепилась на европейском рынке с 1989 года и в настоящее время пользуется широкой сетью продаж и обслуживания. Корпоративный бренд «ACCRETECH» фирма получила в 2001 году. Такое название произошло от слова Accrete, что означает: использование синергии, объединение усилий, совместное нахождение решений, предложение наилучшей поддержки для лучших продуктов, сближение и объединение. Название является движущей силой для новых новаторских технологий как в области нанометровой точности промышленных измерительных технологий, так и в увлекательной области технологии полупроводникового оборудования.


1949 год - офис компании Tokyo Seimitsu Kogu Co.,Ltd (впоследствии ACCRETECH)


В 1969 году в Японии у компании Tosei Engineering Service Co., Ltd появляется первая координатно-измерительная машина, а уже в 1970 году первый пробер – родоначальник современных зондовых станций фирмы ACCRETECH.

На сегодняшний день оборудование ACCRETECH задействовано на всех этапах производства полупроводников приборов:

  • шлифовка кромок пластины
  • верхняя шлифовка (жесткая)
  • химико-механическая полировка, включая отмывку
  • тестирование кристаллов на пластине
  • финальная полировка пластины
  • резка пластины (механическая или лазерная)

Остановимся на этапе тестирования кристаллов на пластине.

Зондовые станции для пластин диаметром до 200 мм – это правильное и проверенное временем решение под любые требования производителя микросхем. Станции работают с высочайшей точностью позиционирования и в широком температурном диапазоне.

UF190R


Полностью автоматическая зондовая станция для пластин 100 мм или от 120 до 200 мм

  • Высокая скорость зондирования
  • Широкий диапазон применения
  • Высокая безопасность планарности
  • Возможность модернизации станции
    • Обновленное программное обеспечение
    • Зондирование MEMS-пластин
    • Скорость перемещения по осям XY- 300 мм/сек., скорость перемещения по оси Z- 30 мм/сек., угол поворота зондового столика (Chuk) ± 50
    • Роботизированный манипулятор для удержания пластин
    • Опциональное оснащение вторым устройством подачи пластин

UF200R


Полностью автоматическая зондовая станция для пластин диаметром от 120 до 200 мм

  • Высокая скорость зондирования
  • Широкий диапазон применения
  • Высокая безопасность планарности
  • Возможность модернизации станции
    • Обновленное программное обеспечение и усовершенствованные возможности
    • Многофункциональное применение
    • Скорость перемещения по осям XY- 300 мм/сек., скорость перемещения по оси Z- 30 мм/сек., угол поворота зондового столика (Chuk) ± 50
    • Роботизированный манипулятор для удержания пластин
    • Опциональное оснащение вторым устройством подачи пластин
    • Опция нагрева и охлаждения зондового столика

UF2000


Полностью автоматическая зондовая станция с высокой пропускной способностью для пластин диаметром от 120 до 200 мм

  • Точность ±1,5 мкм, с новейшей оптикой для определения точности позиционирования
  • Сверхстабильная платформа по оси Z для мультипинового зондирования
  • Точное поддержание температурного режима при нагреве и охлаждении зондового столика (Chuck)
  • Высокая гибкость и опциональность, таких как двойная загрузка
  • Простая работа - многофункциональный дисплей и сенсорный экран
  • Привод осей может быть отдельно управляемым для оптимального зондирования отдельно выбранного компонента

Зондовые станции для пластин диаметром до 300мм – это станции с высокой пропускной способностью и точностью ±1,5 мкм. Станция может быть адаптирована ко всем средам тестирования за счет усовершенствованного управления и навигации по пластине.

UF3000EX


Полностью автоматическая зондовая станция, отвечающая самым высоким требованиям производства - теперь еще быстрее и точнее.

  • Сверхвысокая скорость зондирования
  • Превосходная производительность
  • Сверхточная оптическая измерительная система
    • Обновленный блок управления приводами по осям XY для улучшения быстродействия
    • Обновленная и улучшенная Z-платформа, обеспечивающая максимальную производительность, качественное и надежное контактирование мультипиновых проб-карт с большим количеством компонентов
    • Высокоустойчивая ось Z c блоком очистки зондов проб-карты
    • 15-дюймовый ЖК-сенсорный экран для упрощенной работы оператора
    • Усовершенствованная оптическая система для очень точных измерений положения зондовых карт относительно зондового стола
    • Трехцветное и трехуровневое увеличение цветной записи
    • Навигационная функция дисплея – оператор может управлять каждой точкой на тестируемой пластине простым касанием (tap)
    • Широкий набор опций

UF3000EX-e


Полностью автоматическая зондовая станция, имеющая уникальный функционал для специальных измерений.

  • Бескомпромиссность для пропускной способности
  • Высокая гибкость в применении
  • Очень точная навигация
  • Бесконтактное измерение
    • Для пластин диаметром от 200 до 300 мм - для специальных типов пластин
    • Обновленный блок привода осей XY и новый алгоритм для сверхвысокой пропускной способности
    • Обновленная и улучшенная Z-платформа, обеспечивающая максимальную производительность, качественное и надежное контактирование мультипиновых проб-карт с большим количеством компонентов
    • 15-дюймовый ЖК-сенсорный экран для упрощенной работы оператора
    • Усовершенствованная оптическая система для очень точных измерений положения зондовых карт относительно зондового стола
    • Трехцветное и трехуровневое увеличение цветной записи
    • Навигационная функция дисплея – оператор может управлять каждой точкой на тестируемой пластине простым касанием (tap)
    • Широкий набор опций, такие как функция проверки отпечатка зонда

Применение зондовых станций ACCRETECH на зарубежных заводах


Индустриальный парк на базе компании «HISEMI- electronics».
Предоставляет услугу по контрактному тестированию 8-дюймовых пластин – производительность 40 000 штук в месяц.
Основное тестовое оборудование J750 – Teradyne
Основная платформа для зонда: UF200A, UF3000


Контрактное тестирование пластин на заводе компании GREATEK ELECTRONICS
Основное тестовое оборудование J750 –Teradyne
Основная платформа для зонда: UF190


Контрактное тестирование пластин на заводе компании Jingyuan Electronics Co., Ltd
Основное тестовое оборудование Advantest
Основная платформа для зонда: UF3000EX

Производители микросхем на территории РФ - владельцы зондовых станций ACCRETECH



Знаете ли вы, что ООО «Совтест АТЕ» 16 лет сотрудничает с ACCRETECH и является официальным дистрибьютором в России. Инженеры Совтест АТЕ прошли обучение по обслуживанию зондовых станций. Благодаря знаниям и опыту, Совтест АТЕ оказывает квалифицированную техническую поддержку, соответствующую высокому уровню, в том числе: обучение, ремонт, сервисное обслуживание, а также разработку и изготовление проб-карт. Также ООО «Совтест АТЕ» является производителем и поставщиком смежного оборудования для зондовых станций – тестеры микросхем.

   

Более подробно о зондовых станциях ACCRETECH и Совтест АТЕ можете узнать на сайте

Отправить запрос